Arnold, Heinrich;
Zum Stand der physikochemischen Modellbildung für CVD-Prozesse. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 7-9
Zum Stand der physikochemischen Modellbildung für CVD-Prozesse. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 7-9
Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Hummel, Wolf-Joachim; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl; Linß, M.
Eigenschaften von Tantal-Silizium-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 175-182
Eigenschaften von Tantal-Silizium-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 175-182
Spieß, Lothar; Tippmann, Herbert; Hegewald, Gunter; Nitzsche, Karl; Knedlik, Christian
Wolframsilicidbildung durch Temperung von Wolframschichten auf einkristallinem Silicium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 167-174
Wolframsilicidbildung durch Temperung von Wolframschichten auf einkristallinem Silicium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 6, S. 167-174
Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Linß, M.; Hummel, Wolf-Joachim; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl
Triotron-Zerstäubungsanordnung zur Herstellung von Ta/Si-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 3, S. 161-166
Triotron-Zerstäubungsanordnung zur Herstellung von Ta/Si-Mischschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 32 (1986), 3, S. 161-166
Teichert, Gerd;
Herstellung und Charakterisierung hochohmiger, heteroepitaktischer Zinkoxidschichten. - Ilmenau, 1986. - 94 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Herstellung und Charakterisierung hochohmiger, heteroepitaktischer Zinkoxidschichten. - Ilmenau, 1986. - 94 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Hegewald, Gunter;
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens von Leitbahnen der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1986. - 102, 5 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens von Leitbahnen der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1986. - 102, 5 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986
Enthält außerdem: Thesen
Rensch, Uta; Eichhorn, Gerd
Investigation of the state of strain and of the electrical properties of AlN layers on monocrystalline Si. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 90 (1985), 1, S. 135-141
https://doi.org/10.1002/pssa.2210900111
Investigation of the state of strain and of the electrical properties of AlN layers on monocrystalline Si. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 90 (1985), 1, S. 135-141
https://doi.org/10.1002/pssa.2210900111
Arnold, Heinrich;
Direkter und indirekter Atomanbau bei CVD-Prozessen für die Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 31 (1985), 5, S. 169-178
Direkter und indirekter Atomanbau bei CVD-Prozessen für die Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 31 (1985), 5, S. 169-178
Spieß, Lothar;
Zur Silizidproblematik in Metallisierungssystemen für integrierte Schaltkreise der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1985. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985
Zur Silizidproblematik in Metallisierungssystemen für integrierte Schaltkreise der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1985. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985
Applied surface science : a journal devoted to applied physics and chemistry of surfaces and interfaces. - Amsterdam : Elsevier. - Online-Ressource, 24.1985 - 258.2012; Vol. 259.2012 -Gesehen am 07.08.24
https://www.sciencedirect.com/journal/applied-surface-science
https://www.sciencedirect.com/journal/applied-surface-science