Integration of probe systems in a nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Eighth International Symposium on Laser Metrology: Macro-, Micro-, and Nano-Technologies Applied in Science, Engineering, and Industry, (2005), S. 168-172
Application of a positioning and measuring machine for metrological long-range scanning force microscopy. - In: Advanced characterization techniques for optics, semiconductors, and nanotechnologies II, (2005), S. 587802, insges. 12 S.
Nanopositioning and nanomeasuring machine for high accuracy measuring procedures of small features in large areas. - In: Optical fabrication, testing, and metrology II, (2005), S. 596509, insges. 11 S.
Progress on the wide scale nano-positioning- and nanomeasuring machine by integration of optical-nanoprobes. - In: Fringe 2005, (2005), S. 291-298
Plane mirror interferometer for precision length measurements. - In: Proceedings of the 5th international conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2005), S. 45-48
Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 72 (2005), 10, S. 566-575
http://dx.doi.org/10.1524/teme.2005.72.10_2005.566
Selbstkalibrierende Miniaturfixpunkt-Thermometer im Kraftwerkseinsatz : Schlussbericht zum Forschungsvorhaben. - Ilmenau. - Online-Ressource (81 S., 1,90 MB)Förderkennzeichen AiF 13374 BR. - VGB-Nr. 247. - Antrags-Nr.: BR06336/01. - Literaturangaben
https://edocs.tib.eu/files/e01fn06/505769352.pdf
Nanomesssysteme für Nanopositioniersysteme. - In: Mechanical engineering from macro to nano, (2005), S. 17-18
Ein Beitrag zur Feuchtekompensation von Präzisionsmeßgeräten, 2005. - Online-Ressource (PDF-Datei: 101 S., 1856 KB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005
Parallel als Druckausg. erschienen
Eine Entwicklungsrichtung zur Reduzierung der Meßunsicherheit von Präzisionsmeßgeräten ist die Minimierung von Querempfindlichkeiten der Meßgeräte auf Störgrößen. Zu den Störgrößen zählen alle auf ein Meßgerät wirkenden Einflüsse außer der eigentlichen Meßgröße. Eine wesentliche Rolle spielen die drei Klimagrößen Temperatur, Luftfeuchte und Luftdruck. Stand der Technik ist, daß ein Großteil der heutigen Präzisionsmeßgeräte über eine weitgehende Störgrößenunterdrückung verfügt. Besonders das Gebiet der Reduzierung der Feuchteabhängigkeit bietet jedoch noch erhebliches Potential zur weiteren Verringerung der Meßunsicherheit. Die vorliegende Arbeit stellt eine systematische Vorgehensweise zur Erzielung eines feuchteunabhängigen Meßgerätes vor. Ausgehend von den Ursachen der Feuchteabhängigkeit werden Methoden zur Reduzierung der Feuchteabhängigkeit abgeleitet. Diese Methoden lassen sich in zwei Kategorien einteilen: 1. Minimierung des für die Feuchteabhängigkeit verantwortlichen Feuchtetransportes. 2. Kompensation der Feuchteabhängigkeit auf der Basis mathematischer Methoden. Der Feuchtetransport läßt sich durch die Konstanthaltung der relativen Feuchte im Meßgerät, z.B. durch Feuchtepufferung, fast vollständig unterbinden. Weiterhin kann das Eindringen von Feuchtigkeit in Bauteile durch konstruktive Maßnahmen wie Kapselung, Versiegelung und Abdichtung reduziert werden. Unter einer Vielzahl von Varianten zur Modellierung des Verhaltens von Systemen sind sogenannte Polynommodelle zur mathematischen Feuchtekompensation besonders gut geeignet. Durch diese Modelle ist es möglich, die statische und die dynamische Feuchteabhängigkeit gemeinsam zu beschreiben. Wesentlichen Einfluß auf die Güte einer mathematischen Kompensation hat neben der Modellstruktur auch die Darstellungsvariante der Feuchte (relative Feuchte, absolute Feuchte, Dampfdruck, Taupunkttemperatur und ähnliche). Zur Ermittlung der Feuchteabhängigkeit von Präzisionsmeßgeräten sind experimentelle Untersuchungen erforderlich. Da zwischen Temperatur- und Feuchteabhängigkeit Wechselwirkungen bestehen, müssen die zeitlichen Verläufe von Lufttemperatur und Luftfeuchte orthogonal sein. Nur unter dieser Voraussetzung können aus den Experimenten statistisch gesicherte Aussagen zur Temperatur-und Feuchteabhängigkeit getroffen werden.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=4663
Advances in traceable nanometrology with the nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Nanoscale calibration standards and methods, (2005), S. 47-59