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Jäger, Gerd;
Lasernanomeßtechnik - Anwendungen in der Präzisionsgerätetechnik. - In: Sensoren, Aufnehmer und Systeme 2000, (2000), S. 428-441

Jäger, Gerd; Manske, Eberhard; Hausotte, Tino; Büchner, Hans-Joachim
Laserinterferometrische Nanomeßmaschinen. - In: Sensoren und Meßsysteme 2000, (2000), S. 271-278

Am Institut für Prozeßmeß- und Sensortechnik wird eine Nanomeßmaschine für die Dreikoordinatenmessung mit einem Meßbereich von 25mm x 25mm x 5mm und einer Auflösung von 1,3nm entwickelt. Sie schließt mit ihrer Auflösung und ihrem Meßbereich eine Gerätelücke in der Koordinatenmeßtechnik. Drei Miniaturplanspiegelinterferometer, ein Antastsensor und zwei Winkelsensoren werden so angeordnet, daß in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messungen möglich sind. Anwendungsgebiet der neuen Nanomeßmaschine ist die Präzisionsvermessung von Kleinteilen und Mikrostrukturen.

Bernhard, Frank; Augustin, Silke; Mammen, Helge; Sommer, Klaus-Dieter; Tegeler, Erich; Wagner, Mathias; Demisch, Ullrich; Trageser, Peter
Calibration of contacting sensors for temperature measurements on surfaces. - In: Proceedings of TEMPMEKO '99, the 7th International Symposium on Temperature and Thermal Measurement in Industry and Science; [1 + 2 + 3 June 1999, Delft, the Netherlands, (1999), S. 257-262

Bragynets, S.; Legkov, G.; Tsydelko, V.; Jäger, Gerd
Neural network technology in nanometry. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 289-296

Jäger, Gerd;
Lasernanomeßtechnik - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen in der modernen Gerätetechnik. - In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1999), insges. 12 S.