Bohm, Sebastian;
Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 476-479
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 476-479
Goj, Boris;
Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Kühnel, Michael; Fröhlich, Thomas; Hoffmann, Martin
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 472-475
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 472-475
Kaltwasser, Mahsa;
Biswas, Shantonu; Stauden, Thomas; Schmidt, Udo; Bund, Andreas; Jacobs, Heiko O.
Bleifreier Lotstapel für fluidische Selbstmontage von Siliziumchips. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 437-439
Bleifreier Lotstapel für fluidische Selbstmontage von Siliziumchips. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 437-439
Mehner, Hannes;
Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin Ulrich
Passiver mechanischer 2-Bit-Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 348-351
Passiver mechanischer 2-Bit-Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 348-351
Schlag, Leslie;
Reiprich, Johannes; Stauden, Thomas; Pezoldt, Jörg; Ispas, Adriana; Bund, Andreas; Schaaf, Peter; Jacobs, Heiko O.
Selbstjustierendes Wachstum von 3D-Nanobrückenverbindungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 317-320
Selbstjustierendes Wachstum von 3D-Nanobrückenverbindungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 317-320
Günther-Müller, Sarah;
Endrödy, Csaba; Si, Shuhuao; Gropp, Sebastian; Weinberger, Stefan; Claes, Roland; Justo, Yolanda; D'heer, Herbert; Van Thourhout, Dries; Neft, Anna; Hoffmann, Martin
EWOD System für optische Schalter. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 246-249
EWOD System für optische Schalter. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 246-249
Behlert, Regine; Gehring, Matthias; Mehner, Hannes; Wieland, Robert; Schrag, Gabriele
Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikro-mechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 207-210
Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikro-mechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 207-210
Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Maier, Konrad; Helwig, Andreas
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 199-202
Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 199-202
Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 139-142
Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 139-142
Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 101-104
MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 101-104