Dünne piezoelektrische AlN-Monomorph-Membranen. - In: Mikro-System-Technik Chemnitz '07, ISBN 978-3-00-022168-2, (2007), S. 53-58
Au-NiO nanocrystalline thin films for sensor application. - In: Journal of physics, ISSN 1742-6596, Bd. 61 (2007), S. 435-439
http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/61/1/087
Influence of ion implantation on titanium surfaces for medical applications. - In: Surface science, ISSN 1879-2758, Bd. 601 (2007), 18, S. 3856-3860
http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2007.04.060
Gas pressure sensing based on MEMS resonators. - In: IEEE sensors, 2007, ISBN 978-1-4244-1262-4, (2007), S. 1251-1254
http://dx.doi.org/10.1109/ICSENS.2007.4388636
Thermisch gespritzte Permanentmagnetschichten. - In: Tagungsband zur 7. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" und zum 10. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz, (2007), S. 71-75
Die Miniaturisierung magnetischen Aktoren ist eine Herausforderung an die Herstellung strukturierbarer magnetischer Schichten mit hoher Energiedichte und Dicken zwischen 20 [my]m und 1.000 [my]m, die mit kommerziell verfügbaren Technologien (z.B. Sputtertechniken) nicht oder nur mit großem Aufwand herstellbar sind. Die höchsten Energirdichten sind mit NdFeB-Magneten erreichbar. - Thermische Spritzverfahren sind für die Herstellung hoch qualitiver, dicker Schichten zwar prädestiniert, allerdings waren bisher publizierte Versuche zum thermischen Spritzen von NdFeB-Schichten (DC-VPS) nicht Erfolg versprechend, da die magnetischen Eigenschfaten gegenüber dem Ausgangspulver drastisch schlechter waren, was auf thermisch und chemisch bedingte Umwandlungen der hartmagnetischen Nd2Fe14B-Phase im Spritzprozess zurück geführt wird. - Das induktiv gekoppelte Hochfrequenzplasma (ICP) bietet wegen seiner besonderen Eigenschaften die Möglichkeit, wesentliche Bedingungen, insbesobndere bei der Verformung und Abkühlung der Partikel auf dem Substrat gegenüber anderen Technologien zu verändern. So ist es im FG POT an der TU Ilmenau gelungen, mit dem ICP in Inertgas- und Grobvakuum-Atmosphäre dicke NdFeB-Schichten mit guten magnetischen Eigenschaften, geringer Porosität und guter Haftung herzustellen. Die magnetischen Kennwerte liegen dabei parameterabhängig bei Hmax= 230 kA/m bzw. Bmax=330 mT bis 490 mT. - Die Ergebnisse legen nahe, dass es durch Variation der Parameter, insbesondere des Reaktordruckes möglich ist, Schichetn mit einstellbaren Eigenschaften herzustellen. Eine erste Anwendung in neuartigen, minaturisierten Magnetventilen wird gegnwärtig vorbereitet.
Reliability of "black silicon" for MEMS packaging. - In: Micromaterials and nanomaterials, ISSN 1619-2486, Bd. 6 (2007), S. 95
Verbesserung der dynamischen Parameter von Magnetventilen durch Optimierung des Energiemanagements des heterogenen Gesamtsystems. - In: Mechatronik 2007, Innovative Produktentwicklung, (2007), S. 85-102
Electromagnetic homogenizing effects on glass melt flows in crucibles. - In: Sklář a keramik, ISSN 0037-637X, Bd. 57C (2007), Seite 62-67
The formation of the melt flow plays a key role in the production of glass due to the required homogeneity of the melt and the quality of the product. Recently, we have reported on the manipulation of the flow velocity of glass melts in crucibles realized by the generation of external Lorentz forces [1]. The electromagnetic effects can be applied to improve the mixing in the melt which results in an enhancement of the thermal and chemical homogenization. In this paper we want to summarize the results of in-situ measurements of temperature and compare these outcomes with the striae formation in solidified glasses in dependence on the used chemical composition of the glass melts (transparent, cobalt oxide doped glass). In the following we deduce the possibilities of acceleration, deceleration and even reversion of the flow from calculated values of the flow velocity resulting from the reversion of the external Lorentz force direction.
A compliant self-actuated device for minimally invasive surgery. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 557-5559
High-inductive small-size microcoils with high ampacity. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 505-507