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Fritz, Mathias; Leimbach, Martin; Schmidt, Udo; Bund, Andreas; Kühnlein, Holger H.
Selektive Vorderseitenmetallisierung von Silizium-Solarzellen. - In: Thüringer Werkstofftag 2013, (2013), S. 221
Parallel als Druckausg. erschienen

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=22997
Heidrich, Tobias; Endert, Fabian; Schwalbe, Ulf; Szalai, Thomas; Ivanov, Svetlozar
Dezentraler Traktionsantrieb für die Kleinspannungsebene. - In: Internationaler ETG-Kongress 2013, (2013), insges. 5 S.

Mehner, Hannes; Leopold, Steffen; Hoffmann, Martin
Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner Aluminiumnitridschichten. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 622-625

Hampl, Stefan; Leistritz, Bianca; Saft, Benjamin; Hoffmann, Martin; Hennig, Eckhard
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 524-527

Dittrich, Lars; Endrödy, Csaba; Hoffmann, Martin;
Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 512-515

Hampl, Stefan; Hoffmann, Martin
Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem Stellweg. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 480-483

Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 468-471

Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin;
Resonant non-contact microprobe in silicon :
Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 253-256

Grewe, Adrian; Endrödy, Csaba; Fütterer, Richard; Cu-Nguyen, Phuong-Ha; Steiner, S.; Hillenbrand, Matthias; Correns, Martin; Hoffmann, Martin; Linß, Gerhard; Zappe, Hans P.; Seifert, Andreas; Kley, E. B.; Sinzinger, Stefan
Opto-mechanical microsystems for hyperspectral imaging :
Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 139-142

We present approaches and systems for hyperspectral imaging devices. The first approach is based on resonant waveguide gratings. Another two systems employ a hyperchromatic confocal approach for the spectral separation of light. The necessary multiplexing in time is realized by tuneable optics. Here we use fluidic micro lenses as well as diffractive Alvarez-Lohmann Lenses. To increase the resolution of such systems micromechanical stepper actuators with large travel range are designed.



Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen
Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern. - In: Von Bauelementen zu Systemen, (2013), S. 87-90