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Dzur, Birger;
Das thermische, induktiv gekoppelte Hochfrequenzplasma: Grundlagen und Möglichkeiten einer außergewöhnlichen Technologie. - In: Jahrbuch Oberflächentechnik, ISSN 0075-2819, Bd. 62 (2006), S. 131-142

Das ICP ist eine relativ lange bekannte Technologie, deren Grundlagen, Eigenschaften und Potenziale seit etwa 20 Jahren zunehmend intensiv erforscht werden. Trotzdem hat sie den Sprung aus dem Labor bisher nur ansatzweise geschafft. Kommerziell erfolgreiche Anwendungen sind im Bereich der Pulversynthese und Modifikation bekannt. Bedeutsame Ergebnisse werden auch bei thermischen Beschichtungen mit dem ICP im Vakuum erzielt, nicht aber konnte es sich bisher als Verfahren des thermischen Beschichtens unter atmosphärischen Bedingungen etablieren. Das atmosphärisch betriebgene ICP kann gerade im bereich der oxidkeramischen Werkstoffe nicht nur als Alternative, sondern als Verfahren zur Herstellung qualitativ gleichwertiger, aber hinsichtlich der Eigenschaften neuer, verbesserter Schichten mit daraus ableitbaren, neuen Anwendungsfeldern, nicht nur eine Alternative, sondern auch eine wichtige Ergänzung des Spektrums der vorhandenen Techniken zum thermischen Beschichten sein. Dazu sollte das ICP durch weitere, praxisorientierte Studien, speziell auch unter atmosphärischen Betriebsbedingungen nicht nur weiter erforscht, sondern vor allem auch weiter bekannt gemacht werden, um es von seinem noch recht exotischem Image zu befreien.



Ecke, Gernot; Niebelschütz, Merten; Kosiba, Rastislav; Rossow, Uwe; Cimalla, Volker; Liday, Jozef; Vogrinčič, Peter; Pezoldt, Jörg; Lebedev, Vadim; Ambacher, Oliver
Fermi level analysis of group III nitride semiconductor device structures by Auger peak position measurements. - In: Journal of electrical engineering, ISSN 1335-3632, Bd. 57 (2006), 6, S. 354-359

Hermann, Martin; Furtmayr, Florian; Morales Sánchez, Francisco Miguel; Ambacher, Oliver; Stutzmann, Martin; Eickhoff, Martin
Impact of silicon incorporation on the formation of structural defects in AlN. - In: Journal of applied physics, ISSN 1089-7550, Bd. 100 (2006), 11, 113531, insges. 9 S.

https://doi.org/10.1063/1.2363239
Fischl, Tamás; Albrecht, Arne; Wurmus, Helmut; Hoffmann, Martin; Stubenrauch, Mike; Sánchez-Ferrer, Antoni
Liquid crystalline elastomers for microengineering :
Flüssigkristalline Elastomere für die Mikrotechnik. - In: Kunststoffe, ISSN 0023-5563, Bd. 96 (2006), 10, S. 30-34

Tonisch, Katja; Cimalla, Volker; Förster, Christian; Romanus, Henry; Ambacher, Oliver; Dontsov, Denis
Piezoelectric properties of polycrystalline AlN thin films for MEMS application. - In: Sensors and actuators. Physical. - Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science, 1990- , ISSN: 1873-3069 , ZDB-ID: 1500729-7, ISSN 1873-3069, Bd. 132 (2006), 2, S. 658-663

http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2006.03.001
Wang, Chunyu; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver
Tuning of electrical properties of In x O y thin films grown by MOCVD for different applications. - In: Materials science and engineering technology, ISSN 1521-4052, Bd. 37 (2006), 11, S. 945-946

http://dx.doi.org/10.1002/mawe.200600079
Schadewald, Uwe; Halbedel, Bernd; Romanus, Henry; Hülsenberg, Dagmar
New results of the crystallization behaviour of hexagonal barium ferrites from a glassy matrix. - In: Materials science and engineering technology, ISSN 1521-4052, Bd. 37 (2006), 11, S. 941-944

http://dx.doi.org/10.1002/mawe.200600084
Niebelschütz, Merten; Ecke, Gernot; Cimalla, Volker; Tonisch, Katja; Ambacher, Oliver
Austrittsarbeitsanalyse von GaN basierten Lateral Polarity Strukturen durch Auger-Elektronen-Energie-Messungen. - In: Materials science and engineering technology, ISSN 1521-4052, Bd. 37 (2006), 11, S. 937-940

http://dx.doi.org/10.1002/mawe.200600083
Mahr, Petra; Halbedel, Bernd
Characterisation of the deagglomeration behaviour of nanoscaled barium hexaferrite powders by measurement of electrokinetic effects. - In: Materials science and engineering technology, ISSN 1521-4052, Bd. 37 (2006), 11, S. 933-936

http://dx.doi.org/10.1002/mawe.200600081
Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Morales, Francisco M.; Niebelschütz, Merten; Ecke, Gernot; Goldhahn, Rüdiger; Ambacher, Oliver
Origin of n-type conductivity in nominally undoped InN. - In: Materials science and engineering technology, ISSN 1521-4052, Bd. 37 (2006), 11, S. 924-928

http://dx.doi.org/10.1002/mawe.200600082