Frank, Thomas;
Biaxial micropositioning system with an integrated position sensor. - In: Actuator 98, (1998), S. 74-77
Biaxial micropositioning system with an integrated position sensor. - In: Actuator 98, (1998), S. 74-77
Frank, Thomas;
Wurmus, Helmut
The use of the resonance effect for micro-opto-mechanical scanners. - In: Actuator 98, (1998), S. 70-73
The use of the resonance effect for micro-opto-mechanical scanners. - In: Actuator 98, (1998), S. 70-73
Harnisch, Alf;
Feindt, Karsten; Ehrhardt, Anja; Baumgart, Heike; Hülsenberg, Dagmar; Kallenbach, Eberhard
Microstructurable glasses, structuring technologies, special joining techniques and applications for microactuators. - In: Actuator 98, (1998), S. 66-69
Microstructurable glasses, structuring technologies, special joining techniques and applications for microactuators. - In: Actuator 98, (1998), S. 66-69
Heim, Ulf; Albrecht, Arne; Klöpzig, Markus
High speed polygon scanner. - In: Actuator 98, (1998), S. 58-61
High speed polygon scanner. - In: Actuator 98, (1998), S. 58-61
Knedlik, Christian; Spieß, Lothar
Werkstoffe und Analytik für die Mikroelektronik aus der Sicht der Metallisierung und Kontaktierung. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Werkstoffe und Analytik für die Mikroelektronik aus der Sicht der Metallisierung und Kontaktierung. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Schenk, Andre; Rainova, Yu. P.; Pezoldt, Jörg
Simulation von Strömungsprozessen in einem RTP-Reaktor. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 8 S.
Simulation von Strömungsprozessen in einem RTP-Reaktor. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 8 S.
Hofmann, Thomas; Schmidt, Cordt;
Untersuchung zum Einfluß von Pulse-Plating auf die elektrolytische Abscheidung von Kupfer. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Untersuchung zum Einfluß von Pulse-Plating auf die elektrolytische Abscheidung von Kupfer. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Heider, Thomas; Nolin, Suzanne; Rother, Wolfgang; Nutsch, Gabriele
Innovative Oberflächenmodifikation mit dem Remote-Plasma einer Barriereentladung. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Innovative Oberflächenmodifikation mit dem Remote-Plasma einer Barriereentladung. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Schwanbeck, Heike; Schmidt, Udo; Winterstein, Volker; Müller, Klaus
Galvanische Abscheidung von Cobalt-Legierungsschichten für magnetische Längen- und Winkelmeßsysteme. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Galvanische Abscheidung von Cobalt-Legierungsschichten für magnetische Längen- und Winkelmeßsysteme. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Breiter, Manuela; Nutsch, Gabriele
Einfluß der Prozeßparameter bei der Diamantsynthese mit einem DC-Plasmastrahl. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Einfluß der Prozeßparameter bei der Diamantsynthese mit einem DC-Plasmastrahl. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.