Hotovy, Ivan; Schwesinger, Norbert
The effect of mask material on the reactive ion etching of silicon structures. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 71-76
The effect of mask material on the reactive ion etching of silicon structures. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 71-76
Murray, C.; O'Mathuna, S. C.; Schwesinger, Norbert; Bartsch, Heike
Novel polymer bounded Nd-Fe-B based magnetic inks. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 58-70
Novel polymer bounded Nd-Fe-B based magnetic inks. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 58-70
Gerlach, Torsten; Enke, Daniel; Frank, Thomas; Hutschenreuther, Lutz; Schacht, Hans-Joachim; Schüler, Ralf
Mikromechanische selbstregelnde Kopplung von Monomode-Lichtwellenleitern. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 133-138
Mikromechanische selbstregelnde Kopplung von Monomode-Lichtwellenleitern. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 133-138
Salim, Riad; Wurmus, Helmut
Mikrotechnischer Greifer für die Mikrosystemtechnik. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 109-114
Mikrotechnischer Greifer für die Mikrosystemtechnik. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 109-114
Keoschkerjan, Ruben; Harutjunjan, Michael; Wurmus, Helmut; Schwesinger, Norbert
Modellierung der Dynamik eines Mikrodosiersystems mit piezoelektrischem Mikroakutator. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 88-93
Modellierung der Dynamik eines Mikrodosiersystems mit piezoelektrischem Mikroakutator. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 88-93
Kozhevatkin, Sergey G.; Straube, Berit; Hülsenberg, Dagmar
Ausnutzung des fotochromen Effektes zur Mikrostrukturierung spezieller Gläser. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 52-57
Ausnutzung des fotochromen Effektes zur Mikrostrukturierung spezieller Gläser. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 52-57
Vollath, Heike; Preiß, Stefan; Hülsenberg, Dagmar
Neue Methoden zur Mikrostrukturierung spezieller Gläser. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 47-51
Neue Methoden zur Mikrostrukturierung spezieller Gläser. - In: Vortragsreihen, (1996), S. 47-51
Albrecht, Arne;
Harnisch, Alf; Hülsenberg, Dagmar; Kallenbach, Eberhard; Riemer, Detlef; Zöppig, Veit
Technologies for the manufacturing of micro- and miniactuators based on usage of microstructurable glass materials. - In: Micro system technologies 96, (1996), S. 639-644
Technologies for the manufacturing of micro- and miniactuators based on usage of microstructurable glass materials. - In: Micro system technologies 96, (1996), S. 639-644
Albrecht, Arne;
Michael, Steffen; Scheinert, Gernot
Simulation and optimization of a magnetic levitated disk with multiphase drive. - In: Micro system technologies 96, (1996), S. 753-755
Simulation and optimization of a magnetic levitated disk with multiphase drive. - In: Micro system technologies 96, (1996), S. 753-755
Wauro, Frank; Wurmus, Helmut
An assembly and alignment module for microsystem technology. - In: Micro system technologies 96, (1996), S. 573-578
An assembly and alignment module for microsystem technology. - In: Micro system technologies 96, (1996), S. 573-578