Hülsenberg, Dagmar; Harnisch, Alf; Horst, Hans-Jürgen; May, Markus; Schmidt, Kristina; Straube, Berit
Microstructuring of glass wafers for kinetic sensors. - In: Sensor 95, (1995), S. 415-420
Microstructuring of glass wafers for kinetic sensors. - In: Sensor 95, (1995), S. 415-420
Dzur, Birger; Nutsch, Gabriele
Induktionsplasmaspritzen - ein neues Verfahren des thermischen Beschichtens. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 106-111
Induktionsplasmaspritzen - ein neues Verfahren des thermischen Beschichtens. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 106-111
Stauden, Thomas; Eichhorn, Gerd; Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg; Ecke, Gernot; Nennewitz, Olaf
ECR-Abscheidung von AlN auf Si. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 756-759
ECR-Abscheidung von AlN auf Si. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 756-759
Zöllner, Jens-Peter; Eichhorn, Gerd; Stauden, Thomas; Cimalla, Volker; Schliefke, Willy
Zu Problemen der Temperaturmessung beim RTP. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 750-755
Zu Problemen der Temperaturmessung beim RTP. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 750-755
Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg; Eichhorn, Gerd
Einfluß von Pufferschichten auf die Struktur und Morphologie von SiC-Epitaxieschichten auf Si. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 742-749
Einfluß von Pufferschichten auf die Struktur und Morphologie von SiC-Epitaxieschichten auf Si. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 742-749
Nennewitz, Olaf; Spieß, Lothar; Breternitz, Volkmar
Ohmsche Kontakte auf p-type 6H-Siliciumkarbid. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 730-735
Ohmsche Kontakte auf p-type 6H-Siliciumkarbid. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 730-735
Fabricius, Alexander; Nennewitz, Olaf; Spieß, Lothar; Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg
Herstellung von WSi 2 und TiSi 2 durch Co-Sputtern und RTA. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 724-729
Herstellung von WSi 2 und TiSi 2 durch Co-Sputtern und RTA. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 724-729
Hotový, Ivan; Vanek, Oldrich; Spieß, Lothar; Nennewitz, Olaf
NiO thin films applicable in gas sensors. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 713-718
NiO thin films applicable in gas sensors. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 713-718
Heider, Thomas; Presia, Michael; Schleicher, Larissa; Nutsch, Gabriele
Diamantschichtsynthese mit thermischem Plasma. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 703-708
Diamantschichtsynthese mit thermischem Plasma. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 703-708
Angelov, Mirko; Schön, S.; Goldhahn, Rüdiger; Nennewitz, Olaf
Synthese von ZnGe(As x P 1-x) 2 -Kristallen und Charakterisierung mittels elektrolytischer Elektroreflexion. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 692-697
Synthese von ZnGe(As x P 1-x) 2 -Kristallen und Charakterisierung mittels elektrolytischer Elektroreflexion. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 692-697