Harnisch, Alf; Albrecht, Arne; Birli, Oliver; Zöppig, Veit; Frank, T.; Hülsenberg, Dagmar; Kallenbach, Eberhard
Mikrostrukturierbare Gläser und Glas/Metall-Verbundstrukturen für Miniantriebe. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 189-199
Mikrostrukturierbare Gläser und Glas/Metall-Verbundstrukturen für Miniantriebe. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 189-199
Straube, Berit; Hülsenberg, Dagmar
Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 180-188
Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 180-188
May, Markus; Hülsenberg, Dagmar
Mikrostrukturierung von Glas mittels Nd:YAG-Laser. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 173-179
Mikrostrukturierung von Glas mittels Nd:YAG-Laser. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 173-179
Gerlach, Torsten; Wurmus, Helmut
Aufbau und Wirkungsweise der Dynamischen Mikropumpe. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 112-119
Aufbau und Wirkungsweise der Dynamischen Mikropumpe. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 112-119
Salim, Riad;
Mikrotechnischer Silizium-Greifer für die Mikromontage. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 105-111
Mikrotechnischer Silizium-Greifer für die Mikromontage. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 105-111
Wurmus, Helmut;
Anwendungspotentiale von Polymeren in der Mikrotechnik. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 90-97
Anwendungspotentiale von Polymeren in der Mikrotechnik. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 90-97
Schilling, Cornelius; Wurmus, Helmut
Mikrosysteme - dem Leben ein Stück näher. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 14-25
Mikrosysteme - dem Leben ein Stück näher. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 14-25
Schwesinger, Norbert; Frank, Thomas
Integrierbare Mikromischer für Anwendungen in der chemischen Verfahrenstechnik und Analytik. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 6-13
Integrierbare Mikromischer für Anwendungen in der chemischen Verfahrenstechnik und Analytik. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 6-13
Böhner, R.; Hamann, Bernd; Hülsenberg, Dagmar; Knauf, Otto; Schaffner, E.; Unbekannt, J.
Fine BaTiO3 powder produced by the glass crystallization technique. - In: Ceramic processing science and technology, (1995), S. 75-79
Fine BaTiO3 powder produced by the glass crystallization technique. - In: Ceramic processing science and technology, (1995), S. 75-79
Straube, Berit;
Hülsenberg, Dagmar; Harnisch, Alf; May, Markus
Die Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser :
Development of microstructurable glasses. - In: Micro materials '95, (1995), S. 325-332
Die Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser :
Development of microstructurable glasses. - In: Micro materials '95, (1995), S. 325-332