Liebscher, Heinz;
Das Adsorptions-Diffusionsmodell der Einebnung im Zusammenhang mit der Abscheidung in Mikrostrukturen. - In: Oberflächentechnik '92, (1992), S. 85-88
Das Adsorptions-Diffusionsmodell der Einebnung im Zusammenhang mit der Abscheidung in Mikrostrukturen. - In: Oberflächentechnik '92, (1992), S. 85-88
Nutsch, Gabriele; Rother, Wolfgang
A simple heat flux density probe for technical plasmas. - In: Proceedings of the Tenth International Conference on Gas Discharges and Their Applications, (1992), S. 694-698
A simple heat flux density probe for technical plasmas. - In: Proceedings of the Tenth International Conference on Gas Discharges and Their Applications, (1992), S. 694-698
Wurmus, Helmut;
Mikrosystemtechnik in der Industrie - Statement. - In: Zweites Symposium Mikrosystemtechnik, (1992), S. 17-20
Mikrosystemtechnik in der Industrie - Statement. - In: Zweites Symposium Mikrosystemtechnik, (1992), S. 17-20
Weißleder, Horst; Drüe, Karl-Heinz; Bieske, Björn; Drescher, Jürgen; Klimovitzky, Vladimir A.; Magedov, Vladimir S.
Biotelemetriesystem für Biosputnik Nr. 10 (1992) : Lösungen und Probleme. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 886-891
Biotelemetriesystem für Biosputnik Nr. 10 (1992) : Lösungen und Probleme. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 886-891
Hartke, Andreas;
Ein Verfahren zur automatischen Justage von Modell- und Bilddaten zur visuellen Inspektion von 2D-Strukturen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 715-720
Ein Verfahren zur automatischen Justage von Modell- und Bilddaten zur visuellen Inspektion von 2D-Strukturen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 715-720
Maschotta, Peter;
Anwendung neuronaler Netze bei der automatischen optischen Inspektion in der Dickschichthybridtechnik. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 709-714
Anwendung neuronaler Netze bei der automatischen optischen Inspektion in der Dickschichthybridtechnik. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 709-714
Trensch, Torsten;
Ein grauwertverarbeitendes Verfahren zur Kantenselektion für Inspektionsaufgaben in der Elektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 703-708
Ein grauwertverarbeitendes Verfahren zur Kantenselektion für Inspektionsaufgaben in der Elektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 703-708
Festic, Vladimir; Kocanda, Jozef; Vesely, Marian; Gunst, Ullrich; Müller, Bernhard
Gating technique on SIMS depth profiling - dynamic range of Ga implanted Si. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 485-490
Gating technique on SIMS depth profiling - dynamic range of Ga implanted Si. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 485-490
Ullrich, Klaus; Zöllner, Jens-Peter; Pezoldt, Jörg; Eichhorn, Gerd; Patzschke, Ingo
Berechnung der Temperaturverteilung auf dem Si-Wafer während Kurzzeittemperprozessen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 446-451
Berechnung der Temperaturverteilung auf dem Si-Wafer während Kurzzeittemperprozessen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 446-451
Räbiger, Torsten; Pezoldt, Jörg; Torber, Karsten; Zöllner, Jens-Peter; Ullrich, Klaus; Eichhorn, Gerd
Einfluß der Gasströmung auf die Temperaturverteilung des Wafers bei RTP-Prozessen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 440-445
Einfluß der Gasströmung auf die Temperaturverteilung des Wafers bei RTP-Prozessen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 440-445