Müller, Bernhard; Gunst, Ullrich; Schlegel, St.
SIMS-Vergleichsmessungen zur Tiefenprofilierung und Sekundärionenausbeute. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 434-439
SIMS-Vergleichsmessungen zur Tiefenprofilierung und Sekundärionenausbeute. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 434-439
Hülsenberg, Dagmar; Horst, Hans-Jürgen; Schmidt, Kristina; Straube, Berit
Struturability of special glasses by means of microtechnique. - In: Glass structure, optical and optoelectronic devices, (1992), S. 493-498
Struturability of special glasses by means of microtechnique. - In: Glass structure, optical and optoelectronic devices, (1992), S. 493-498
Zöllner, Jens-Peter; Ullrich, Klaus
Simulationen zu einem rotationssymmetrischen RTP-Reaktor. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 429-433
Simulationen zu einem rotationssymmetrischen RTP-Reaktor. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 429-433
Pezoldt, Jörg;
Polytype Phasenübergänge während der plastischen Deformation von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 424-428
Polytype Phasenübergänge während der plastischen Deformation von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 424-428
Garg, U.; Rößler, Hans; Procop, Mathias
Bestimmung von Elementtiefenverteilungen im nm-Bereich mittels zerstörungsfreier Analysemethoden. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 419-423
Bestimmung von Elementtiefenverteilungen im nm-Bereich mittels zerstörungsfreier Analysemethoden. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 419-423
Breternitz, Volkmar; Hoebbel, Helmut; Scherge, Matthias; Knedlik, Christian
Widerstandsmeßmethoden für Elektromigrationsuntersuchungen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 317-322
Widerstandsmeßmethoden für Elektromigrationsuntersuchungen. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 317-322
Drüe, Karl-Heinz;
Beeinflussung charakteristischer Parameter von in Dickschichttechnik hergestellten Mikrostreifenleitungen mittels Laserstrukturierung. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 306-310
Beeinflussung charakteristischer Parameter von in Dickschichttechnik hergestellten Mikrostreifenleitungen mittels Laserstrukturierung. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 306-310
Spieß, Lothar; Schawohl, Jens; Straßburger, Torsten; Rode, Annett
Röntgendiffraktometrische Sonderverfahren an dünnen Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 198-203
Röntgendiffraktometrische Sonderverfahren an dünnen Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 198-203
Kupris, Gerald; Rößler, Hans
Untersuchungen zur Durchmischungszone beim Ionenstrahlsputtern dünner Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 194-197
Untersuchungen zur Durchmischungszone beim Ionenstrahlsputtern dünner Schichten. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 194-197
Kretzer, O.; Lenk, G.; Wesch, W.; Gunst, Ullrich; Müller, Bernhard
Charakterisierung flacher Borprofile in Silizium nach Implantation und Laserausheilung. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 182-187
Charakterisierung flacher Borprofile in Silizium nach Implantation und Laserausheilung. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 182-187