Brčka, Jozef; Gr&hacek;no, Július; Zur, Albrecht
The radiative flux distribution in the RTP reactor zone. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 122-127
The radiative flux distribution in the RTP reactor zone. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 122-127
Eichhorn, Gerd; Pezoldt, Jörg; Stauden, Thomas; Zöllner, Jens-Peter
Rapid Thermal Processing in der Mikroelektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 118-121
Rapid Thermal Processing in der Mikroelektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 118-121
Kalnin, Andreji Aleksandrowitsch; Pezoldt, Jörg; Neubert, Frank
Grundlagen der Struktursteuerung und Herstellung von heteropolytypen Kompositionen auf der Basis von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 102-112
Grundlagen der Struktursteuerung und Herstellung von heteropolytypen Kompositionen auf der Basis von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 102-112
Hülsenberg, Dagmar; Bornschein, U.; Zillinger, M.
Sensorgeführte Konturenbearbeitung von weißgetrocknetem Porzellan. - In: Symposium Bearbeiten von Keramik, (1992), S. 201-226
Sensorgeführte Konturenbearbeitung von weißgetrocknetem Porzellan. - In: Symposium Bearbeiten von Keramik, (1992), S. 201-226
Hülsenberg, Dagmar; Horst, H.-J.; Schmidt, Kristina
Mikrostrukturierung von Gläsern. - In: Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik, (1992), S. 393-406
Mikrostrukturierung von Gläsern. - In: Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik, (1992), S. 393-406
Thust, Heiko;
Drüe, Karl-Heinz
Green tape technologies in thick film multilayer structures - advantages and applications of a new basic technology. - In: Micro system technologies 91, (1991), S. 370-377
Green tape technologies in thick film multilayer structures - advantages and applications of a new basic technology. - In: Micro system technologies 91, (1991), S. 370-377
Heim, Ulf;
Simulation of wet anisotropic etching in silicon. - In: Micro system technologies 91, (1991), S. 197-202
Simulation of wet anisotropic etching in silicon. - In: Micro system technologies 91, (1991), S. 197-202
Rempt, Wolfgang;
Kutzschbach, Peter; Liebscher, Heinz
Galvanische Metallabscheidung bei Verwendung depolarisierter inerter Anoden. - In: Fortschritt durch Oberflächentechnik, (1991), S. 33-36
Galvanische Metallabscheidung bei Verwendung depolarisierter inerter Anoden. - In: Fortschritt durch Oberflächentechnik, (1991), S. 33-36
Liebscher, Heinz;
Kutzschbach, Peter; Kutzschbach, Peter *1944-*; Rempt, Wolfgang;
Probleme der Metallabscheidung in Kreislaufsystemen. - In: Oberflächentechnologie im Europa der 90er Jahre, (1991), S. 30-37
Richtiger Name des Verf.: Peter Kutzschbach
Probleme der Metallabscheidung in Kreislaufsystemen. - In: Oberflächentechnologie im Europa der 90er Jahre, (1991), S. 30-37
Richtiger Name des Verf.: Peter Kutzschbach
Nutsch, Rolf; Liebscher, Heinz
Galvanische Abscheidung von Silber-, Zinn- und Nickellegierungen für Steckverbinderkontakte. - In: Oberflächentechnik und Tribologie, (1991), S. 132-134
Galvanische Abscheidung von Silber-, Zinn- und Nickellegierungen für Steckverbinderkontakte. - In: Oberflächentechnik und Tribologie, (1991), S. 132-134