Tagungsbeiträge

Wedrich, Karin; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
Numerical model of a passive microsystem detecting and saving independent acceleration shocks. - In: 28th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2017), 012008, insges. 6 S.

https://doi.org/10.1088/1742-6596/922/1/012008

Schmitt, Philip; Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Mehner, Hannes; Hoffmann, Martin
Design, fabrication and characterisation of a microfluidic time-temperature indicator. - In: 28th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, (2017), 012004, insges. 6 S.

https://doi.org/10.1088/1742-6596/922/1/012004

Gropp, Sebastian; Stegner, Johannes; Stehr, Uwe; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hein, Matthias; Hoffmann, Martin
Silicium-Keramik-Verbundsubstrat für einen HF-MEMS-Oszillator. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 704-707

Si, Shuhuao; Dittrich, Lars; Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin
Verkleinerung periodischer Nanostrukturen für NIL-Master mit einstellbaren Strukturdimensionen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 684-687

Weigel, Christoph; Hoffmann, Martin Ulrich; Schönefeld, Wolfgang
Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 662-665

Reiprich, Johannes; Fang, Jun; Park, Se-Chul; Schlag, Leslie; Stauden, Thomas; Pezoldt, Jörg; Jacobs, Heiko O.
Lokalisierter Transport von Schwebstoffen zu programmierbaren, mikroskopischen Sensorpunkten durch Korona-Entladung. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 578-581

Schmitt, Philip; Wedrich, Karin; Hoffmann, Martin
Autonomer Temperatur-Zeit-Integrator. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 574-577

Bichra, Mohamed; Müller, Lutz; Feßer, Patrick; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 548-551

Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 476-479

Goj, Boris; Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Dressler, Lothar; Kühnel, Michael; Fröhlich, Thomas; Hoffmann, Martin
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung. - In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), S. 472-475

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