Romanus, Henry; Cimalla, Volker; Kromka, Alexander; Scheiner, Jörg; Spieß, Lothar; Pezoldt, Jörg
Atomic force microscopy investigations of rapid thermal carbonized silicon. - In: Materials science and engineering. Solid state materials for advanced technology / American Society for Metals. - New York, NY [u.a.] : Elsevier, 1988- , ISSN: 1873-4944 , ZDB-ID: 1492109-1, ISSN 1873-4944, Bd. 47 (1997), 3, S. 274-278
http://dx.doi.org/10.1016/S0921-5107(97)00045-7
Atomic force microscopy investigations of rapid thermal carbonized silicon. - In: Materials science and engineering. Solid state materials for advanced technology / American Society for Metals. - New York, NY [u.a.] : Elsevier, 1988- , ISSN: 1873-4944 , ZDB-ID: 1492109-1, ISSN 1873-4944, Bd. 47 (1997), 3, S. 274-278
http://dx.doi.org/10.1016/S0921-5107(97)00045-7
Hülsenberg, Dagmar;
Mikrostrukturierung von Glas. - In: Spektrum der Wissenschaft, ISSN 0170-2971, (1997), 12, S. 112-118
Mikrostrukturierung von Glas. - In: Spektrum der Wissenschaft, ISSN 0170-2971, (1997), 12, S. 112-118
Hülsenberg, Dagmar;
Glasses for microsystems technology. - In: Microelectronics journal, ISSN 0026-2692, Bd. 28 (1997), 4, S. 419-432
http://dx.doi.org/10.1016/S0026-2692(96)00071-7
Glasses for microsystems technology. - In: Microelectronics journal, ISSN 0026-2692, Bd. 28 (1997), 4, S. 419-432
http://dx.doi.org/10.1016/S0026-2692(96)00071-7
Schilling, Cornelius; Riemer, Detlef
Von Muskeln und Motoren : zu Inhalt und Zielen des Innovationskollegs "Bewegungssysteme". - In: Beiträge aus dem wissenschaftlichen Leben, Bd. 2 (1997), S. 35-38
Von Muskeln und Motoren : zu Inhalt und Zielen des Innovationskollegs "Bewegungssysteme". - In: Beiträge aus dem wissenschaftlichen Leben, Bd. 2 (1997), S. 35-38
Fischer, Thomas; Winkler, Gert
Umweltgerechte elektronische Baugruppen. - In: Beiträge aus dem wissenschaftlichen Leben, Bd. 2 (1997), S. 25-32
Umweltgerechte elektronische Baugruppen. - In: Beiträge aus dem wissenschaftlichen Leben, Bd. 2 (1997), S. 25-32
Doppleb, Christina;
Diamantsynthese mit einem DC-Plasmastrahl: Einstellung der Substrattemperatur. - In: Beiträge aus dem wissenschaftlichen Leben, Bd. 2 (1997), S. 8-10
Diamantsynthese mit einem DC-Plasmastrahl: Einstellung der Substrattemperatur. - In: Beiträge aus dem wissenschaftlichen Leben, Bd. 2 (1997), S. 8-10
Halbedel, Bernd;
Autogenous electromechanical finest grinding. - In: Fine solid particles, (1997), S. 8-16
Autogenous electromechanical finest grinding. - In: Fine solid particles, (1997), S. 8-16
Schmidt, Cordt;
Mache, Thomas
Characterization of copper layers :
Charakterisierung von Kupferschichten : Qualitätsbewertung galvanisch abgeschiedener Metallschichten mit Hilfe der Rasterkraftmikroskopie. - In: Metalloberfläche, ISSN 0026-0797, Bd. 50 (1996), 9, S. 698-703
Characterization of copper layers :
Charakterisierung von Kupferschichten : Qualitätsbewertung galvanisch abgeschiedener Metallschichten mit Hilfe der Rasterkraftmikroskopie. - In: Metalloberfläche, ISSN 0026-0797, Bd. 50 (1996), 9, S. 698-703
Müller, Jens;
Thust, Heiko; Schwanke, Dieter
High frequency performance comparison of MCM-C materials. - In: The international journal of microcircuits & electronic packaging, ISSN 1063-1674, Bd. 19 (1996), 4, S. 475-482
High frequency performance comparison of MCM-C materials. - In: The international journal of microcircuits & electronic packaging, ISSN 1063-1674, Bd. 19 (1996), 4, S. 475-482
Stauden, Thomas; Eichhorn, Gerd; Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg; Ecke, Gernot
The deposition of aluminum nitride on silicon by plasma-enhanced metal-organic chemical vapour deposition. - In: Diamond and related materials, ISSN 0925-9635, Bd. 5 (1996), 10, S. 1210-1213
https://doi.org/10.1016/0925-9635(96)00512-2
The deposition of aluminum nitride on silicon by plasma-enhanced metal-organic chemical vapour deposition. - In: Diamond and related materials, ISSN 0925-9635, Bd. 5 (1996), 10, S. 1210-1213
https://doi.org/10.1016/0925-9635(96)00512-2