Ein zentrales Thema der ersten Förderperiode bildeten Untersuchungen zur Messung an stark gekrümmten Oberflächen durch Erweiterung der NPMM um zwei Freiheitsgrade (Tool-/Sensorschwenkeinheit) unter Einhaltung des Abbe-Komparator-Prinzips. Als Ergebnis der Forschungsarbeiten wurde auf Basis von metrologischen und konstruktiven Variantenvergleichen ein Demonstrator für eine 5-Achs-Nanopositionier- und Nano-messmaschine aufgebaut und untersucht. Dabei wurde festgestellt, dass die Eigenschaften des Systems wesentlich von der metrologischen Qualität der Referenzhalbkugel und den dazugehörigen Interferometersystemen abhängen. Um mit den metrologischen Parametern in den unteren Nanometerbereich vorzudringen, sind umfangreiche weitere Forschungsarbeiten auf diesem Gebiet erforderlich. Besonderes Augenmerk ist auf eine detaillierte Fehleranalyse des Interferometersystems zu legen, um dadurch eine deutliche Qualitätsverbesserung der metrologischen Kette zu erreichen. Ein weiteres Ziel ist die Optimierung der Referenzhalbkugel bezüglich der Materialauswahl und der Herstellungstechnologie, um die erforderlichen topologischen Eigenschaften für messtechnische Applikationen im Nanometerbereich zu gewährleisten. Im Ergebnis der Forschungsarbeiten sollen am Ende der zweiten Förderperiode metrologische und konstruktive Richtlinien für Multiachs- Nanopositionier- und Nanomesssysteme unter dem Gesichtspunkt der Eignung für Applikationen in der Nanofabrikation erarbeitet werden.
Projektleiter: Prof. Füßl, Prof. Fröhlich