Niebelschütz, Florentina; Stauden, Thomas; Tonisch, Katja; Pezoldt, Jörg
Temperature facilitated ECR-etching for isotropic SiC structuring. - In: Materials science forum, ISSN 1662-9752, Bd. 645/648 (2010), S. 849-852
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.849
Temperature facilitated ECR-etching for isotropic SiC structuring. - In: Materials science forum, ISSN 1662-9752, Bd. 645/648 (2010), S. 849-852
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.849
Tonisch, Katja; Jatal, Wael; Granzner, Ralf; Kittler, Mario; Baumann, Uwe; Schwierz, Frank; Pezoldt, Jörg
2H-AlGaN/GaN HEMTs on 3C-SiC(111)/Si(111) substrates. - In: Materials science forum, ISSN 1662-9752, Bd. 645/648 (2010), S. 1219-1222
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.1219
2H-AlGaN/GaN HEMTs on 3C-SiC(111)/Si(111) substrates. - In: Materials science forum, ISSN 1662-9752, Bd. 645/648 (2010), S. 1219-1222
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.1219
Niebelschütz, Florentina; Zhao, Wei Hong; Brückner, Klemens; Tonisch, Katja; Linß, Matthias; Hein, Matthias A.; Pezoldt, Jörg
Property modification of 3C-SiC MEMS on Ge-modified Si(100) substrates. - In: Materials science forum, ISSN 1662-9752, Bd. 645/648 (2010), S. 861-864
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.861
Property modification of 3C-SiC MEMS on Ge-modified Si(100) substrates. - In: Materials science forum, ISSN 1662-9752, Bd. 645/648 (2010), S. 861-864
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.861
Goj, Boris; Dittrich, Lars; Erbe, Torsten; Rosenbaum, Sören; Hoffmann, Martin
High precision test device for calibration of miniaturized three-dimensional magnetic sensors. - In: Mechanika, (2010), S. 166-171
High precision test device for calibration of miniaturized three-dimensional magnetic sensors. - In: Mechanika, (2010), S. 166-171
Schaaf, Peter;
Innovative Werkstoffforschung an der TU Ilmenau. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 2
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Innovative Werkstoffforschung an der TU Ilmenau. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 2
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Fischer, Michael; Bartsch, Heike; Pawlowski, B.; Barth, S.; Hoffmann, Martin; Müller, Jens
SiCer - ein innovativer Substratwerkstoff für MEMS. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 6
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
SiCer - ein innovativer Substratwerkstoff für MEMS. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 6
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Hoffmann, Martin;
Nanostrukturierte Materialien in Mikrosystemen: Silicium-Gras als Werkstoff. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 27-32
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Nanostrukturierte Materialien in Mikrosystemen: Silicium-Gras als Werkstoff. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 27-32
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Brokmann, Ulrike; Raab, Dagmar; Rädlein, Edda; Schiermeyer, Susanne; Meyer, K.-H.
UV-transparente Anti-Schmutz-Funktionalisierung von Quarzglasrohroberflächen. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 71-74
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
UV-transparente Anti-Schmutz-Funktionalisierung von Quarzglasrohroberflächen. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 71-74
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Brokmann, Ulrike; Raab, Dagmar; Tünker, G.; Rädlein, Edda
Vergleich von Korrosionstests für Glasemails in Architekturanwendungen. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 75-78
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Vergleich von Korrosionstests für Glasemails in Architekturanwendungen. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 75-78
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Mache, Thomas; Jakob, Christine; Dittrich, Lars; Hoffmann, Martin
Batch-taugliche Fertigungsansätze für funktionenintegrierende feinwerktechnische Systemkomponenten mit maßgeschneiderten Eigenschaften. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 79-84
Parallel als Druckausg. erschienen
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15197
Batch-taugliche Fertigungsansätze für funktionenintegrierende feinwerktechnische Systemkomponenten mit maßgeschneiderten Eigenschaften. - In: Thüringer Werkstofftag 2010, (2010), S. 79-84
Parallel als Druckausg. erschienen
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