Marinov, Marin B.; Hecht, Siegmar; Schilling, Cornelius
Universalmodul zur Signalaufnahme FET-basierter Sensoranordnungen. - In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1999), insges. 6 S.
Universalmodul zur Signalaufnahme FET-basierter Sensoranordnungen. - In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1999), insges. 6 S.
Hamann, Bernd; Gruner, Winfried; Wenzel, Oliver
Hochtemperatur-Prozeßmikroskop : Gerätekonzept und Anwendungen. - In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1999), insges. 6 S.
Hochtemperatur-Prozeßmikroskop : Gerätekonzept und Anwendungen. - In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1999), insges. 6 S.
Thust, Heiko; Drüe, Karl-Heinz; Kirchner, Torsten; Thelemann, Torsten
Vergrabene Widerstände für den Einsatz in LTCC MCMs. - In: Deutsche IMAPS Konferenz, (1999), S. 2-7
Vergrabene Widerstände für den Einsatz in LTCC MCMs. - In: Deutsche IMAPS Konferenz, (1999), S. 2-7
Yanev, Vasil;
Schwesinger, Norbert; Schwesinger, Norbert *1952-*; Wurmus, Helmut;
Plasma deposition and pattering of thin fluorocarbon polymer films for several applications in micromechanics and microsystem technology. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 548-553
Plasma deposition and pattering of thin fluorocarbon polymer films for several applications in micromechanics and microsystem technology. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 548-553
Schwesinger, Norbert; Pobering, Sebastian
A micromechanical stroke amplifier for microfluidic components. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 341-347
A micromechanical stroke amplifier for microfluidic components. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 341-347
Gramsch, Torsten; Meier, Petra; Frank, Thomas; Kallenbach, Matthias; Schilling, Cornelius; Blickhan, Reinhard; Wurmus, Helmut
Ein Vergleich des Skelettmuskels mit Mikroaktuator-Kaskaden mittels FEM-Simulation des Muskels. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 197-204
Ein Vergleich des Skelettmuskels mit Mikroaktuator-Kaskaden mittels FEM-Simulation des Muskels. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 197-204
Novotny, I.; Breternitz, Volkmar; Ivanic, R.; Knedlik, Christian; Tvarozek, Vladimir; Spieß, Lothar; Rehacek, Vlastimil
Thin film microelectrode arrays for electrochemical biosensors. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 215-220
Thin film microelectrode arrays for electrochemical biosensors. - In: [Vortragsreihen, (1999), S. 215-220
Schwesinger, Norbert;
Yanev, Vasil; Philippov, Philipp
Untersuchungen zur Kombination naß- und trockenchemischer Ätzverfahren für die Herstellung von 3D Si-Mikrostrukturen. - In: Micro system technologies 98, (1998), S. 743-746
Untersuchungen zur Kombination naß- und trockenchemischer Ätzverfahren für die Herstellung von 3D Si-Mikrostrukturen. - In: Micro system technologies 98, (1998), S. 743-746
Philippov, Philipp;
Ivantchev, T.; Thust, Heiko
Trimming of thick film resistors for HIC by high voltage pulses. - In: Micro system technologies 98, (1998), S. 740-742
Trimming of thick film resistors for HIC by high voltage pulses. - In: Micro system technologies 98, (1998), S. 740-742
Klöpzig, Markus;
A novel linear micromachined electromagnetic actuator including magnetic suspension. - In: Actuator 98, (1998), S. 548-551
A novel linear micromachined electromagnetic actuator including magnetic suspension. - In: Actuator 98, (1998), S. 548-551