Enke, Daniel; Gerlach, Torsten
Piezoelektrischer Mikromanipulator mit Übersetzungsgetriebe. - In: Mechanisch aktive Mikrosysteme, (1996), S. 31-36
Piezoelektrischer Mikromanipulator mit Übersetzungsgetriebe. - In: Mechanisch aktive Mikrosysteme, (1996), S. 31-36
Frank, Thomas;
Wirkungsverstärkung von elektrodynamischen Mikroantrieben durch Kaskadierung. - In: Mechanisch aktive Mikrosysteme, (1996), S. 26-30
Wirkungsverstärkung von elektrodynamischen Mikroantrieben durch Kaskadierung. - In: Mechanisch aktive Mikrosysteme, (1996), S. 26-30
Zahn, Dietrich R. T.; Werninghaus, Thomas; Thümer, M.; Pezoldt, Jörg; Heera, Viton
Raman spectroscopy investigation of (SiC) 1-x (Ain) x layers formed by ion implantation in 6H-SiC. - In: III-Nitride, SiC and diamond materials for electronic devices, (1996), S. 729-734
Raman spectroscopy investigation of (SiC) 1-x (Ain) x layers formed by ion implantation in 6H-SiC. - In: III-Nitride, SiC and diamond materials for electronic devices, (1996), S. 729-734
Angelov, Mirko; Goldhahn, Rüdiger; Nennewitz, Olaf; Schön, Silke
Characterization of ZnGe(As x P 1-x) 2 crystals by electrolyte electroreflectance spectroscopy. - In: Diagnostic techniques for semiconductor materials processing II, (1996), S. 567-572
Characterization of ZnGe(As x P 1-x) 2 crystals by electrolyte electroreflectance spectroscopy. - In: Diagnostic techniques for semiconductor materials processing II, (1996), S. 567-572
Rainova, Yu. P.; Pezoldt, Jörg; Antonenko, K. I.; Eichhorn, Gerd
Application of holographic interferometry to flow pattern visualization in an RTCVD reactor. - In: Rapid thermal and integrated processing V, (1996), S. 65-70
Application of holographic interferometry to flow pattern visualization in an RTCVD reactor. - In: Rapid thermal and integrated processing V, (1996), S. 65-70
Schwesinger, Norbert;
Frank, Thomas; Wurmus, Helmut
A modular microfluid system with an integrated micromixer. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 6 (1996), 1, S. 99-102
https://doi.org/10.1088/0960-1317/6/1/023
A modular microfluid system with an integrated micromixer. - In: Journal of micromechanics and microengineering, ISSN 1361-6439, Bd. 6 (1996), 1, S. 99-102
https://doi.org/10.1088/0960-1317/6/1/023
Fabricius, Alexander; Nennewitz, Olaf; Spieß, Lothar; Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg
Rapid thermal annealing of tungsten silicide films. - In: Silicide thin films, (1996), S. 625-630
Rapid thermal annealing of tungsten silicide films. - In: Silicide thin films, (1996), S. 625-630
Teichert, Gerd; Pezoldt, Jörg; Cimalla, Volker; Nennewitz, Olaf; Spieß, Lothar
Analysis of reflection high energy electron diffraction pattern of silicon carbide grown on silicon. - In: Evolution of epitaxial structure and morphology, (1996), S. 17-22
Analysis of reflection high energy electron diffraction pattern of silicon carbide grown on silicon. - In: Evolution of epitaxial structure and morphology, (1996), S. 17-22
Wöhner, Thomas; Ecke, Gernot; Rößler, Hans; Hofmann, Siegfried
A model of sputtering induced roughness of polycrystalline metallic films. - In: ECASIA 95, (1996), S. 587-590
A model of sputtering induced roughness of polycrystalline metallic films. - In: ECASIA 95, (1996), S. 587-590
Hülsenberg, Dagmar; Leutbecher, Thomas; Winkler, Volker; Marx, G.
Glas-Verbundwerkstoff. - In: Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde, (1996), S. 413-416
Glas-Verbundwerkstoff. - In: Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde, (1996), S. 413-416