A novel approach in the application of flexure bearings in primary torque standard machines. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 109-112
New approach to overcome the limitations in small torque realization. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 101-104
Experimental investigation in the friction characteristics of high precision planar ball guides. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 43-46
Design and construction of a laser scanning microscope for surface metrology. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 121-124
Einflüsse auf die Messung des Traganteils planarer Wälzführungen. - In: Gleit- und Wälzlagerungen, (2011), S. 429-433
Wälzreibverhalten von Kugel-Ebene-Kontakten in planaren Führungen : Versuchsaufbau und Vorversuche. - In: Gleit- und Wälzlagerungen, (2011), S. 423-427
Planare Wälzführung - eine Alternative für hochpräzise Anwendungen. - In: Profilschienenführungen in Werkzeugmaschinen, 2010, 5, insges. 5 S. Text und 12 S. Präsentationsfolien
Providing target performance indices when automating the assembly of microscope objectives. - In: Journal of optical technology, ISSN 1091-0786, Bd. 77 (2010), 1, S. 38-41
http://dx.doi.org/10.1364/JOT.77.000038
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen - universelle skalenübergreifende Werkzeuge für die Mikro-Nano-Integration. - In: Mikro-Nano-Integration, (2010), S. 89-92
Konzeption und konstruktive Gestaltung der Messkreise von Nanomessmaschinen. - Münster : Monsenstein und Vannerdat, 2010. - XIII, 164 S. : Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010
ISBN 978-3-86991-194-6
Nanomessmaschinen dienen zur nanometergenauen Messung von geometrischen Gestaltparametern. Sie sind in verschiedenen Bereichen der Nanotechnologie und Nanoelektronik einsetzbar. Oftmals sind die Messbereiche auf einige Mikrometer bis Millimeter begrenzt, jedoch verlangen neue Anwendungen Nanomessmaschinen mit immer größeren Messbereichen und immer kleineren Messunsicherheiten. Ein wichtiger Bestandteil bei deren Entwicklung ist die Konzeption und konstruktive Gestaltung der Messkreiselemente und insbesondere des Messrahmens. Dafür werden dem Entwickler von Nanomessmaschinen eine Vorgehensweise und Richtlinien zur Verfügung gestellt. Mit Hilfe einer Messkreisstruktur und eines vektoriellen Messkreismodells können Abweichungen der Messkreiselemente analysiert werden. Um diese klein zu halten werden verschiedene Maßnahmen bei der Konzeption und konstruktiven Gestaltung diskutiert. Anhand eines Messrahmens für eine Nanomessmaschine mit kartesisch-horizontaler Messanordnung wird der konstruktive Entwicklungsprozess gezeigt. Ausgehend von einer universell nutzbaren Kombinationstabelle werden Prinzipvarianten erarbeitet. Anschließend erfolgen eine Variantenauswahl und die Umsetzung der gewählten Variante. Eine theoretische Untersuchung des Fehlerverhaltens mit Hilfe des erarbeiteten messkreisbezogenen vektoriellen Modells bestätigt die Tauglichkeit der Lösung. Mit der kartesisch-tetraederförmigen Messanordnung ist es möglich, das Konstruktionsprinzip der Symmetrie auch für den Messrahmen konsequent einzuhalten. Dies ermöglicht die passive Kompensation von Abweichungen. Zunächst werden die Grundlagen zur Abschätzung der Messunsicherheit der Interferometer mit Hilfe einer Koordinatentransformation geschaffen und angewendet. Anschließend erfolgt der Entwurf eines Messrahmens mit kartesisch-tetraederförmiger Messanordnung. Im Ergebnis entsteht ein "Dreibein"-Messrahmen, dessen Fehlerverhalten untersucht wird. Den Abschluss bildet eine Gegenüberstellung der kartesisch-horizontalen und der kartesisch-tetraedrischen Messanordnung für planare und dreidimensionale Messobjekte hinsichtlich funktioneller, metrologischer und konstruktiver Kriterien. Daraufhin werden allgemeine Schlussfolgerungen für die Auswahl der optimalen Messanordnung gezogen.