Dorozhovets, Nataliya; Hausotte, Tino; Manske, Eberhard; Jäger, Gerd; Hofmann, Norbert
Metrological scanning probe microscope. - In: Optical micro- and nanometrology in microsystems technology, 2006, S. 61880L, insges. 8 S.
Metrological scanning probe microscope. - In: Optical micro- and nanometrology in microsystems technology, 2006, S. 61880L, insges. 8 S.
Manske, Eberhard;
Lichtwellenleitergekoppelte Miniaturinterferometer für die Präzisionsmesstechnik. - VI, 149 S. Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2006
Lichtwellenleitergekoppelte Miniaturinterferometer für die Präzisionsmesstechnik. - VI, 149 S. Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2006
Jäger, Gerd; Hausotte, Tino; Büchner, Hans-Joachim; Manske, Eberhard; Schmidt, Ingomar; Mastylo, Rostyslav
Long-range nanopositioning and nanomeasuring machine for application to micro- and nanotechnology. - In: Metrology, inspection, and process control for microlithography XX, (2006), S. 615224, insges. 9 S.
Long-range nanopositioning and nanomeasuring machine for application to micro- and nanotechnology. - In: Metrology, inspection, and process control for microlithography XX, (2006), S. 615224, insges. 9 S.
Fröhlich, Thomas;
Temperaturkompensation von Präzisionsmeßgeräten. - 133 S. Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2006
Temperaturkompensation von Präzisionsmeßgeräten. - 133 S. Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2006
Büchner, Hans-Joachim; Jäger, Gerd
A novel plane mirror interferometer without using corner cube reflectors. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 17 (2006), 4, S. 746-752
http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/17/4/021
A novel plane mirror interferometer without using corner cube reflectors. - In: Measurement science and technology, ISSN 1361-6501, Bd. 17 (2006), 4, S. 746-752
http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/17/4/021
Wang, Yung-Cheng; Manske, Eberhard; Jäger, Gerd; Jywe, Wenyuh
Abbe error-free test equipment for nanometer-order measurments. - In: Progress on advanced manufacture for micro/nano technology 2005, (2006), S. 379-384
Abbe error-free test equipment for nanometer-order measurments. - In: Progress on advanced manufacture for micro/nano technology 2005, (2006), S. 379-384
Jäger, Gerd; Hausotte, Tino; Manske, Eberhard; Büchner, Hans-Joachim; Mastylo, Rostyslav; Dorozhovets, Natalja; Füßl, Roland; Grünwald, Rainer
Nanometrology - nanopositioning- and nanomeasuring machine with integrated nanoprobes. - In: Progress on advanced manufacture for micro/nano technology 2005, (2006), S. 7-12
Nanometrology - nanopositioning- and nanomeasuring machine with integrated nanoprobes. - In: Progress on advanced manufacture for micro/nano technology 2005, (2006), S. 7-12
Jäger, Gerd;
Manske, Eberhard
Nanopositionier- und Nanomesstechnik. - In: Ingenieur-Nachrichten, (2005), 2, S. 4
Nanopositionier- und Nanomesstechnik. - In: Ingenieur-Nachrichten, (2005), 2, S. 4
Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Hausotte, Tino; Jäger, Gerd
Friction modelling of a linear high-precision actuator. - In: IFAC Proceedings Volumes, ISSN 1474-6670, Bd. 38 (2005), 1, S. 133-138
https://doi.org/10.3182/20050703-6-CZ-1902.01201
Friction modelling of a linear high-precision actuator. - In: IFAC Proceedings Volumes, ISSN 1474-6670, Bd. 38 (2005), 1, S. 133-138
https://doi.org/10.3182/20050703-6-CZ-1902.01201
Fröhlich, Thomas;
Fehling, Thomas; Heydenbluth, Detlef;
Determination of magnetic properties of weights using the susceptometer method. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [05.P.14], insges. 10 S.
Parallel als CD-ROM-Ausg. erschienen
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17427
Determination of magnetic properties of weights using the susceptometer method. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [05.P.14], insges. 10 S.
Parallel als CD-ROM-Ausg. erschienen
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17427