Spieß, Lothar;
Rechnerunterstützte komplexe Festkörperanalytik für Mikroelektronikwerkstoffe, insbesondere von Siliciden zur Metallisierung von höchstintegrierten Schaltkreisen. - Ilmenau. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Habilitationsschrift 1990
Enthält Thesen
Rechnerunterstützte komplexe Festkörperanalytik für Mikroelektronikwerkstoffe, insbesondere von Siliciden zur Metallisierung von höchstintegrierten Schaltkreisen. - Ilmenau. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Habilitationsschrift 1990
Enthält Thesen
Hagel, Hans-Joachim;
Das Temperaturverhalten der Kontaktsysteme Metallisierung-Mono-Silizium und Metallisierung-Poly-Silizium unipolarer Festkörperschaltkreise, 1990. - 109, [5] Bl. Ilmenau : Techn. Hochsch., Diss., 1990
Enth. außerdem: Thesen
Das Temperaturverhalten der Kontaktsysteme Metallisierung-Mono-Silizium und Metallisierung-Poly-Silizium unipolarer Festkörperschaltkreise, 1990. - 109, [5] Bl. Ilmenau : Techn. Hochsch., Diss., 1990
Enth. außerdem: Thesen
Scherge, Matthias; Knedlik, Christian; Belan, Jozef; Harman, Rudolf
Elektronische Rauschanalyse als Qualitätstest für Leitbahnen in der VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 73-83
Elektronische Rauschanalyse als Qualitätstest für Leitbahnen in der VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 73-83
Köthe, Gerhard;
Breternitz, Volkmar; Tippmann, Herbert
Degradation in Metallisierungsschichten infolge Elektromigration. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 61-71
Degradation in Metallisierungsschichten infolge Elektromigration. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 61-71
Spieß, Lothar; Klein, Sylke; Schawohl, Jens; Essler, Nora; Knedlik, Christian
Komplexe Strukturanalytik von Metallisierungsschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 51-60
Komplexe Strukturanalytik von Metallisierungsschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 51-60
Knedlik, Christian; Spieß, Lothar; Tippmann, Herbert; Linß, M.; Schneider, Martin
Modernste Metallisierungskonzepte für höchstintegrierte Schaltkreise - Probleme und Lösungen. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 41-50
Modernste Metallisierungskonzepte für höchstintegrierte Schaltkreise - Probleme und Lösungen. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 35 (1989), 1, S. 41-50
Köthe, Gerhard;
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens Ohmscher Metall-Halbleiter-Kontakte auf Aluminiumbasis. - Ilmenau, 1989. - 4 Mikrofiches
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1989
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens Ohmscher Metall-Halbleiter-Kontakte auf Aluminiumbasis. - Ilmenau, 1989. - 4 Mikrofiches
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1989
Tippmann, Herbert; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl; Spieß, Lothar
Wolfram-Silizide für die VLSI-Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 34 (1988), 4, S. 199-205
Wolfram-Silizide für die VLSI-Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 34 (1988), 4, S. 199-205
Knedlik, Christian;
Schneider, Martin;
Mathematisches Modell von Kernspulen für das Tastspul-Wirbelstromverfahren. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 34 (1988), 4, S. 175-184
Mathematisches Modell von Kernspulen für das Tastspul-Wirbelstromverfahren. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 34 (1988), 4, S. 175-184
Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Knedlik, Christian; Nitzsche, Karl; Schlöffel, Lutz; Steding, Jens; Tvarozek, Vladimir; Nowotny, Iwan; Harmann, Rudolf; Grno, J.
Komplexer Analysezyklus (elektrische Messungen, Röntgenfeinstruktur, AES, RBS) zur Charakterisierung von W/Si-Sandwichanordnungen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 91-94
Komplexer Analysezyklus (elektrische Messungen, Röntgenfeinstruktur, AES, RBS) zur Charakterisierung von W/Si-Sandwichanordnungen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 32 (1987), 5, S. 91-94