Spieß, Lothar; Tippmann, Herber; Knedlik, Christian
Elektrische Charakterisierung von Schwermetall-Silizium-Mischschichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 7-10
Elektrische Charakterisierung von Schwermetall-Silizium-Mischschichten. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 7-10
Nitzsche, Karl;
Werkstoffwissenschaftliche Aspekte der Entwicklung des Kontakt- und Leitbahnsystems der VLSI-Technik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 3-6
Werkstoffwissenschaftliche Aspekte der Entwicklung des Kontakt- und Leitbahnsystems der VLSI-Technik. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 3-6
Nitzsche, Karl; Knedlik, Christian; Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Harman, Rudolf; Vanek, Oldrich; Tvarozek, Vladimir
Herstellung und Charakterisierung von getemperten Wolframschichten auf einkristallinem Silizium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 131-140
Herstellung und Charakterisierung von getemperten Wolframschichten auf einkristallinem Silizium. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 131-140
Harman, Rudolf; Nitzsche, Karl
Erfolgreiche gemeinsame Lehre und Forschung der STH Bratislava, Lehrstuhl Mikroelektronik, und der TH Ilmenau, Sektion PHYTEB, 1974 - 1984. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 121-130
Erfolgreiche gemeinsame Lehre und Forschung der STH Bratislava, Lehrstuhl Mikroelektronik, und der TH Ilmenau, Sektion PHYTEB, 1974 - 1984. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 6, S. 121-130
Koprinarow, Nicola; Nitzsche, Karl
Der Einfluß elektrischer Transversalfelder auf die Struktur und elektronischen Eigenschaften aufgedampfter Metallschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 2, S. 147-155
Der Einfluß elektrischer Transversalfelder auf die Struktur und elektronischen Eigenschaften aufgedampfter Metallschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 2, S. 147-155
Koprinarow, Nicola; Nitzsche, Karl
Kurzzeitige Veränderung des Schichtwiderstandes dünner Metallschichten im Vakuum. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 169-180
Kurzzeitige Veränderung des Schichtwiderstandes dünner Metallschichten im Vakuum. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 169-180
Richter, Anett; Rensch, Uta; Knedlik, Christian
RBS-Untersuchungen an Metallisierungsschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 161-168
RBS-Untersuchungen an Metallisierungsschichten. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 161-168
Hegewald, Gunter;
Knedlik, Christian;
Elektromigration in Aluminiumlegierungsleitbahnen. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 153-159
Elektromigration in Aluminiumlegierungsleitbahnen. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 153-159
Tippmann, Herbert; Spieß, Lothar; Knedlik, Christian
Elektrische Charakterisierung von Schichten und Strukturen der Metallisierung für die VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 143-152
Elektrische Charakterisierung von Schichten und Strukturen der Metallisierung für die VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 143-152
Knedlik, Christian; Tippmann, Herbert
Kontaktierungsprobleme der VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 133-142
Kontaktierungsprobleme der VLSI-Technik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 30 (1984), 1, S. 133-142