Journal articles from 2018

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Teichert, Gerd;
Herstellung und Charakterisierung hochohmiger, heteroepitaktischer Zinkoxidschichten. - Ilmenau, 1986. - 94 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986

Enthält außerdem: Thesen

Hegewald, Gunter;
Ein Beitrag zur Klärung des Elektromigrationsverhaltens von Leitbahnen der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1986. - 102, 5 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1986

Enthält außerdem: Thesen

Rensch, Uta; Eichhorn, Gerd
Investigation of the state of strain and of the electrical properties of AlN layers on monocrystalline Si. - In: Physica status solidi. Applications and materials science. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005- , ISSN: 1862-6319 , ZDB-ID: 1481091-8, ISSN 1862-6319, Bd. 90 (1985), 1, S. 135-141

https://doi.org/10.1002/pssa.2210900111
Arnold, Heinrich;
Direkter und indirekter Atomanbau bei CVD-Prozessen für die Mikroelektronik. - In: Wissenschaftliche Zeitschrift / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0043-6917, Bd. 31 (1985), 5, S. 169-178

Spieß, Lothar;
Zur Silizidproblematik in Metallisierungssystemen für integrierte Schaltkreise der VLSI-Technik. - Ilmenau, 1985. - 1 Band (verschiedene Seitenzählungen)
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985


Peterseim, Erhard;
Zum Einfluß der Schaltkreismetallisierung auf die Langzeitstabilität von Au-Draht-Thermokompressionskontakten. - Ilmenau, 1985. - 119 Blätter
Technische Hochschule Ilmenau, Dissertation 1985


Georgi, Christian; Arnold, Heinrich
Metallorganische Gasphasenepitaxie und kristallographische Charakterisierung von ALN auf Saphir. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 47-49

Arnold, Heinrich;
CVD-Modelle mit separierten Oberflächenprozessen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 39-42

Hegewald, Gunter; Nitzsche, Karl;
Elektromigration in Leitbahnen und Kontaktierungsstellen. - In: Internationales wissenschaftliches Kolloquium / Technische Hochschule Ilmenau, ISSN 0374-3365, Bd. 29 (1984), 5, S. 25-27