Tonisch, Katja; Niebelschuetz, Florentina; Cimalla, Volker; Romanus, Henry; Ambacher, Oliver
Fully unstrained GaN on thick AlN layers for MEMS application. - In: Advances in III-V nitride semiconductor materials and devices, ISBN 978-1-60423-411-4, (2007), S. 138-143
Fully unstrained GaN on thick AlN layers for MEMS application. - In: Advances in III-V nitride semiconductor materials and devices, ISBN 978-1-60423-411-4, (2007), S. 138-143
Ambacher, Oliver; Hoffmann, Martin
Funktionale Mikrostrukturen für innovative Sensorkonzepte (INNOSENS) : Schlussbericht ... ; Rahmenprogramm Mikrosysteme 2004 - 2009 ; Laufzeit/Berichtszeitraum: 01.06.2006 - 31.05.2007. - Ilmenau. - Online-Ressource (37 S., 1,48 MB)Förderkennzeichen BMBF 16SV2281
https://edocs.tib.eu/files/e01fb08/572755678.pdf
Funktionale Mikrostrukturen für innovative Sensorkonzepte (INNOSENS) : Schlussbericht ... ; Rahmenprogramm Mikrosysteme 2004 - 2009 ; Laufzeit/Berichtszeitraum: 01.06.2006 - 31.05.2007. - Ilmenau. - Online-Ressource (37 S., 1,48 MB)Förderkennzeichen BMBF 16SV2281
https://edocs.tib.eu/files/e01fb08/572755678.pdf
Pezoldt, Jörg; Kups, Thomas; Voelskow, Matthias; Skorupa, Wolfgang
Ion beam synthesis of 4H-(Si 1-x C 1-y )Ge x+y solid solutions. - In: Physica status solidi, ISSN 1862-6319, Bd. 204 (2007), 4, S. 998-1001
http://dx.doi.org/10.1002/pssa.200674122
Ion beam synthesis of 4H-(Si 1-x C 1-y )Ge x+y solid solutions. - In: Physica status solidi, ISSN 1862-6319, Bd. 204 (2007), 4, S. 998-1001
http://dx.doi.org/10.1002/pssa.200674122
Pezoldt, Jörg; Morales, Francisco M.; Kalnin, Andrei Alexandrovich
Local control of SiC polytypes. - In: Physica status solidi, ISSN 1862-6319, Bd. 204 (2007), 4, S. 1056-1062
http://dx.doi.org/10.1002/pssa.200674123
Local control of SiC polytypes. - In: Physica status solidi, ISSN 1862-6319, Bd. 204 (2007), 4, S. 1056-1062
http://dx.doi.org/10.1002/pssa.200674123
Cimalla, Volker;
Mikro-und nanostrukturierte keramische Halbleiter für die Sensorik von MEMS zu NEMS. - Getr. Zählung Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2007
Mikro-und nanostrukturierte keramische Halbleiter für die Sensorik von MEMS zu NEMS. - Getr. Zählung Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2007
Lebedev, Vadim B.;
Mechanism of heterogeneous crystal growth in highly-mismatched thin films. - 235 S. Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2007
Mechanism of heterogeneous crystal growth in highly-mismatched thin films. - 235 S. Ilmenau : Techn. Univ., Habil.-Schr., 2007
Kups, Thomas; Wang, Chunyu; Gubisch, Maik; Spieß, Lothar; Ambacher, Oliver
TEM investigation of sputtered and epitaxial grown indium oxide layers for ozone sensors. - In: Microscopy and microanalysis, ISSN 1435-8115, Bd. 13.2007, Suppl. S03, S. 406-407
http://dx.doi.org/10.1017/S1431927607082037
TEM investigation of sputtered and epitaxial grown indium oxide layers for ozone sensors. - In: Microscopy and microanalysis, ISSN 1435-8115, Bd. 13.2007, Suppl. S03, S. 406-407
http://dx.doi.org/10.1017/S1431927607082037
Krischok, Stefan; Blank, Claudia; Engel, Michael; Gutt, Richard; Ecke, Gernot; Schawohl, Jens; Spieß, Lothar; Schrempel, Frank; Hildebrand, Gerhard; Liefeith, Klaus
Influence of ion implantation on titanium surfaces for medical applications. - In: Surface science, ISSN 1879-2758, Bd. 601 (2007), 18, S. 3856-3860
http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2007.04.060
Influence of ion implantation on titanium surfaces for medical applications. - In: Surface science, ISSN 1879-2758, Bd. 601 (2007), 18, S. 3856-3860
http://dx.doi.org/10.1016/j.susc.2007.04.060
Brückner, Klemens; Cimalla, Volker; Niebelschütz, Florentina; Stephan, Ralf; Tonisch, Katja; Ambacher, Oliver; Hein, Matthias A.
Gas pressure sensing based on MEMS resonators. - In: IEEE sensors, 2007, ISBN 978-1-4244-1262-4, (2007), S. 1251-1254
http://dx.doi.org/10.1109/ICSENS.2007.4388636
Gas pressure sensing based on MEMS resonators. - In: IEEE sensors, 2007, ISBN 978-1-4244-1262-4, (2007), S. 1251-1254
http://dx.doi.org/10.1109/ICSENS.2007.4388636
Polster, Tobias;
Hoffmann, Martin; Albrecht, Arne; Tonisch, Katja; Ambacher, Oliver; Stauden, Thomas; Donahue, Mary; Michael, Steffen
AlN as a piezoelectric material for integrated micro and nano sensors on silicon. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 249-255
AlN as a piezoelectric material for integrated micro and nano sensors on silicon. - In: Smart Systems Integration 2007, (2007), S. 249-255