5[mu]m thick 3C-SiC layers grown on Ge-modified Si(100) substrates. - In: Superlattices and microstructures, ISSN 1096-3677, Bd. 40 (2006), 4/6, S. 638-643
http://dx.doi.org/10.1016/j.spmi.2006.06.005
Determination of strain and composition in SiC/Si and AlN/Si heterostructures by FTIR-ellipsometry. - In: Superlattices and microstructures, ISSN 1096-3677, Bd. 40 (2006), 4/6, S. 612-618
http://dx.doi.org/10.1016/j.spmi.2006.07.030
Carbon surface diffusion and SiC nanocluster self-ordering. - In: Nuclear instruments & methods in physics research, Bd. 253 (2006), 1/2, S. 241-245
http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2006.10.058
Untersuchungen an Chromdispersionsschichten für tribologische Anwendungen. - In: ZVO Oberflächentage 2006, ISBN 978-3-9806061-6-5, (2006), insges. 4 S.
In Zusammenarbeit zwischen der TU Ilmenau und dem IPA Stuttgart wurde der Einbau von Aluminiumoxidpartikeln in Chromschichten untersucht. - Die Charakterisierung dieser Schichten hinsichtlich der Einbaumenge und der Verteilung erfolgt mit AFM, REM und GDOS Tiefenprofiluntersuchungen. Die Änderung des tribologischen Verhaltens der Schichten durch den Einbau der Partikel wird am tribologischen Prüfstand mit herkömmlichen Chromschichten vergleichen.
MHD - Beeinflussung der Konvektion in Mikrostrukturen mit verschiedenen Aspektverhältnissen. - In: ZVO Oberflächentage 2006, ISBN 978-3-9806061-6-5, (2006), insges. 5 S.
Die Abscheidung von verschiedenen Metallen in Mikrostrukturen erfolgt mit steigendem Aspektverhältnis zunehmend diffusionsgesteuert. Die Strukturhöhe entspricht dabei weitgehend der Diffusionsschichtdicke für den Antransport der Ionen. Insbesondere für die Mitabscheidung von nanoskaligen Partikeln wäre eine konvektive Bewegung innerhalb der Struktur wünschenswert. Am Beispiel von Redoxelektrolyten werden Diffusionsgrenzstromdichten in Abhängigkeit von der Stärke eines äußeren Magnetfeldes ermittelt. Die Stärke der konvektiven Bewegung durch die induzierte Lorenzkraft wird durch den steigenden Diffusionsgrenzstrom des Redoxsystems angezeigt. Der Einfluss von Richtung und Stärke des Magnetfeldes auf den Diffusionsgrenzstrom wird ermittelt und im elektrochemischen Abscheidungsprozess erste Versuche mit dem Einbau von Nanopartikeln vorgestellt.
Definierte Legierungsabscheidungen für die Mikrosystemtechnik. - In: ZVO Oberflächentage 2006, ISBN 978-3-9806061-6-5, (2006), insges. 15 S.
Die heutige Mikrosystemtechnik des 21. Jahrhundert verlangt immer mehr nach Werkstoffen vor allem Legierungen mit definiert einstellbaren Zusammensetzungen und Eigenschaften. Bei der Herstellung dieser Legierungen ist nicht nur die hohe Reproduzierbarkeit eine Forderung sondern auch deren schnelle Fertigung. Dabei muss man besonders die Beschichtungszeit und Beschichtungstemperatur berücksichtigen, da die hohe Präzision bzw. Legierungszusammensetzung möglichst über die gesamte Bauteilhöhe von mehreren 100 æm bis him zu wenigen mm erhalten bleiben sollte. In diesem Beitrag werden die Probleme und Lösungsvorschläge zur Fertigung von Mikrobauteilen aus Legierungen des anormalen Legierungssystems von Nickel Eisen dargelegt. Das System zeichnet sich besonders durch die starke Abhängigkeit der Legierungszusammensetzung von der Diffusionsschichtdicke aus.
Abscheidung von Palladium und Palladiumlegierungen mit hohen Schichtdicken für die Mikrosystemtechnik. - In: Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde, (2006), S. 211-225
Die Abscheidung von Metallen und Legierungen in Mikrostrukturen erfordert meist eine Schichtdicke größer als 100 [My]m, die der Strukturhöhe entspricht. Für die Nutzung von Edelmetallen in Mikrosystemen ist die Abscheidung von spannungsarmen, rissfreien, porenfreien und duktilen Schichten notwendig. Da die kommerziell abgeschiedenen Edelmetallschichten nur bis etwa 10 [My]m qualitätsgerecht abgeschieden werden können, sind geeignete Zusätze und Variation der Abscheidungsbedingungen erforderlich, um mikrosystemtaugliche Elektrolyte zu entwickeln. Charakterisierung der Schichteigenschaften, Parameter der Abscheidungstechnologie und Anwendungsbeispiele werden aufgegührt. Erste Ergebnisse werden vorgestellt und diskutiert.
Vergleichende Untersuchung elektrochemischer und gravimetrischer Methoden zur Korrosionsgeschwindigkeitsbestimmung von Eisen, Kupfer und Zink in wässrigen Medien. - In: Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde, (2006), S. 203-210
Da im Verlauf der Korrosionsforschung verschiedene Methoden der Korrosionsgeschwindigkeitsmessung entwickelt wurden und sich bis heute keine dieser Messungen als die bessere oder genauere durchsetzen konnte, werden in der aktuellen Literatur diese verschiedenen Methoden mit ihren Ergebnissen parallel veröffentlicht. Die Aufgabenstellung dieser Arbeit ist die vergleichende Untersuchung zweier ausgewählter Verfahren der Korrosiongeschwindigkeitsprüfung und die spätere Diskussion der hierbei ermittelten Ergebnisse. Zum Vergleich wurden die beiden dominierenden Verfahren der Messung der Korrosionsgeschwindigkeit herangezogen. Durch einen Langzeittest mit in verschiedenen Medien eingetauchten Proben aus Fe, Cu und Zn konnte nach bestimmten Zeitabständen der Masseverlust der Probe gravimetrisch ermittelt werden. Die Bestimmung der Korrosionsgeschwindigkeit durch elektrochemische Methoden aus der Stromdichtepotenzialkurve und die darauf folgende Berechnung des Polarisationswiderstandes ermöglichten den Vergleich und die Bewertung der beiden Methoden zur Messung der Korrosion.
Correlation between structural and electrical properties of InN thin films prepared by molecular beam epitaxy. - In: Superlattices and microstructures, ISSN 1096-3677, Bd. 40 (2006), 4/6, S. 289-294
http://dx.doi.org/10.1016/j.spmi.2006.07.006
Atomic layer epitaxy of (Si1-xC1-y)Gex+y layers on 4H-SiC. - In: Silicon carbide and related materials - 2005, (2006), S. 1559-1562