Brückner, Klemens; Förster, Christian; Tonisch, Katja; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver; Stephan, Ralf; Blau, Kurt; Hein, Matthias A.
Electromechanical resonances of SiC and AIN beams under ambient conditions. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.P.01], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17356
Electromechanical resonances of SiC and AIN beams under ambient conditions. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.P.01], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17356
Hotovy, Ivan; Huran, Jozef; Spieß, Lothar; Gubisch, Maik; Romanus, Henry; Schawohl, Jens
Hydrogen microsensors based on NiO modified thin films. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.14], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17355
Hydrogen microsensors based on NiO modified thin films. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.14], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17355
Förster, Christian; Cimalla, Volker; Will, Florentina; Ambacher, Oliver; Brückner, Klemens; Stephan, Ralf; Hein, Matthias; Aperathitis, Elias
Group III-nitrides and 3C-SiC for micro- and nanoelectromechanical resonators. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.11], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17311
Group III-nitrides and 3C-SiC for micro- and nanoelectromechanical resonators. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.11], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17311
Tonisch, Katja; Cimalla, Volker; Förster, Christian; Dontsov, Denis; Ambacher, Oliver
Estimation of the piezoelectric properties of thin AIN layers for MEMS applications. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.07], insges. 4 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17305
Estimation of the piezoelectric properties of thin AIN layers for MEMS applications. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.07], insges. 4 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17305
Miloševic, Miloš; Živkovic, Života; Burgold, Jörg; Wurmus, Helmut
Modeling of coupled fluid-structure integration at a high resolution microstructured cantilever sensor for fluid flow velocities measuring. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.04], insges. 11 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17301
Modeling of coupled fluid-structure integration at a high resolution microstructured cantilever sensor for fluid flow velocities measuring. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.04], insges. 11 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17301
Kallenbach, Matthias;
Magnetische Aktoren in Mikrosystemen. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.02], insges. 14 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17299
Magnetische Aktoren in Mikrosystemen. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.02], insges. 14 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17299
Botiov, Julian; Albrecht, Arne; Wurmus, Helmut; Drüe, Karl-Heinz; Hintz, Michael
LTCC Technologie als Grundlage für mikromechanische Funktionselemente. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.10], insges. 14 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17310
LTCC Technologie als Grundlage für mikromechanische Funktionselemente. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [04.10], insges. 14 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=17310
Spieß, Lothar; Machleidt, Torsten; Cimalla, Volker; Gubisch, Maik; Ambacher, Oliver; Franke, Karl-Heinz
Development of a reference field for a NPM-machine. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [01.P.01], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=16760
Development of a reference field for a NPM-machine. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [01.P.01], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=16760
Gubisch, Maik; Liu, Yonghe; Kups, Thomas; Romanus, Henry; Spieß, Lothar; Schäfer, Jürgen A.; Knedlik, Christian
Entwicklung von nanoskaligen Wolframkarbid-Schichtsystemen für funktionelle Oberflächen einer NPM-Maschine. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [01.10], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=16753
Entwicklung von nanoskaligen Wolframkarbid-Schichtsystemen für funktionelle Oberflächen einer NPM-Maschine. - In: Maschinenbau von Makro bis Nano, 2005, [01.10], insges. 2 S.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=16753
Elbahri, Mady; Jebril, Seid; Raudra, Shiva Kumar; Cengher, Dorin; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver; Paretkar, Dadhichi; Wille, Sebastian; Adelung, Rainer
New route of nanowire integration in microfabrication processes for sensor applications. - In: Nanofair 2005, (2005), S. 17-20
New route of nanowire integration in microfabrication processes for sensor applications. - In: Nanofair 2005, (2005), S. 17-20