Spieß, Lothar; Romanus, Henry; Teichert, Gerd; Pezoldt, Jörg
Werkstoffanalytische Probleme bei der Charakterisierung von Siliziumkarbid für Mikrotechnikanwendungen. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Werkstoffanalytische Probleme bei der Charakterisierung von Siliziumkarbid für Mikrotechnikanwendungen. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Vaněk, Oldrich; Knedlik, Christian; Držík, M.; Hučko, B.
Numerical simulation and experimental measurement of thermal stresses in Si-AlN and Si-SiC systems. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Numerical simulation and experimental measurement of thermal stresses in Si-AlN and Si-SiC systems. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Knedlik, Christian; Breternitz, Volkmar; Tippmann, Herbert; Jacobs, Th.; Schawohl, Jens; Teichert, Gerd; Scheffner, W.; Gutermuth, Uwe
Alterungsverhalten von Zinn-Blei-Lotüberzügen auf Bronze-Kontaktstiften. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Alterungsverhalten von Zinn-Blei-Lotüberzügen auf Bronze-Kontaktstiften. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Hotovy, Ivan; Huran, Jozef; Breternitz, Volkmar; Spieß, Lothar; Teichert, Gerd; Schawohl, Jens
Effect of oxygen concentration in the sputtering mixture on the properties of dc magnetron sputtered NiO films. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Effect of oxygen concentration in the sputtering mixture on the properties of dc magnetron sputtered NiO films. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Tvarozek, Vladimir; Breternitz, Volkmar; Novotny, I.; Knedlik, Christian; Rehacek, Vlastimil; Ivanic, R.; Strigac, A.
Selected properties of thin film structures applicable in microelectrochemical cells. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 3 S.
Selected properties of thin film structures applicable in microelectrochemical cells. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 3 S.
Attenberger, Wilfried; Lindner, Jörg; Stritzker, Bernd; Cimalla, Volker; Stauden, Thomas; Ecke, Gernot; Eichhorn, Gerd; Pezoldt, Jörg
Ein Wachstumsmodell für die Karbonisierung von Siliziumsubstraten unter SSMBE-Bedingungen. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 8 S.
Ein Wachstumsmodell für die Karbonisierung von Siliziumsubstraten unter SSMBE-Bedingungen. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 8 S.
Fabricius, A.; Breternitz, Volkmar; Knedlik, Christian
Vergleichende Elektromigrationsuntersuchungen an passivierten und unpassivierten Al(SiCu) Leitbahnen. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Vergleichende Elektromigrationsuntersuchungen an passivierten und unpassivierten Al(SiCu) Leitbahnen. - In: 43. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, (1998), insges. 6 S.
Salim, Riad; Wurmus, Helmut
Multi gearing compliant mechanisms for piezoelectric actuated microgrippers. - In: Actuator 98, (1998), S. 186-188
Multi gearing compliant mechanisms for piezoelectric actuated microgrippers. - In: Actuator 98, (1998), S. 186-188
Frank, Thomas;
Biaxial micropositioning system with an integrated position sensor. - In: Actuator 98, (1998), S. 74-77
Biaxial micropositioning system with an integrated position sensor. - In: Actuator 98, (1998), S. 74-77
Frank, Thomas;
Wurmus, Helmut
The use of the resonance effect for micro-opto-mechanical scanners. - In: Actuator 98, (1998), S. 70-73
The use of the resonance effect for micro-opto-mechanical scanners. - In: Actuator 98, (1998), S. 70-73