Zeitschriftenaufsätze und Buchbeiträge

Dzur, Birger; Linke, Peter; Zimmer, Cordula; Thomas, Georg
Thermisch gespritzte Permanentmagnetschichten. - In: Galvanotechnik, ISSN 0016-4232, Bd. 99 (2008), 9, S. 2272-2275

Die Miniaturisierung von magnetischen Aktoren ist eine Herausforderung an die Herstellung strukturierbarer magnetischer Schichten mit hoher Energiedichte und Dicken zwischen 20 æm und 1000 æm, die mit kommerziell verfügbaren Technologien (z.B. Sputtertechnik) nicht oder nur mit großem Aufwand herstellbar sind. die höchsten Energiedichten sind mit NdFeB-Magneten erreichbar. Thermische Spritzverfahren sind für die Herstellung hoch qualitativer, dicker Schichten zwar prädestiniert, allerdings waren bisher publizierte Versuche zum thermischen Spritzen von NdFeB-Schichten (DC-VPS) nicht Erfolg versprechend, da die magnetischen Eigenschaften ohne eine komplexe thermische Nachbehandlung gegenüber dem Ausgangspulver drastisch schlechter waren, was auf thermisch und chemisch bedingte Umwandlungen der hartmagnetischen Nd2Fe14B-Phase im Spritzprozess zurückgeführt wird. Das induktiv gekoppelte thermische Hochfrequenzplasma (ICP) bietet wegen seiner besonderen Eigenschaften die Möglichkeit, wesentliche Bedingungen, insbesondere bei der Verformung und Abkühlung der Partikel auf dem Substrat gegenüber anderen Technologien zu verändern. So ist es im FG POT der TUI gelungen, mit dem ICP in Inertgas- und Grobvakuum-Atmosphäre dicke NdFeB-Schichten mit guten magnetischen Eigenschaften, geringer Porosität und guter Haftung herzustellen. Die magnetischen Kennwerte liegen dabei parameterabhängig bei Hmax = 230 kA/m beziehungsweise Bmax = 330 mT mis 490 mT. Die Ergebnisse legen nahe, dass es durch Variation der Parameter, insbesondere des Reaktordrucks möglich ist, Schichten mit einstellbaren Eigenschaften herzustellen. eine erste Anwendung in neuartigen, miniaturisierten Magnetventilen wird gegenwärtig vorbereitet.

Wang, Chunyu; Ali, Majdeddin; Kups, Thomas; Röhlig, Claus-Christian; Cimalla, Volker; Stauden, Thomas; Ambacher, Oliver
NOx sensing properties of In2O3 nanoparticles prepared by metal organic chemical vapor deposition. - In: Sensors and actuators, ISSN 0925-4005, Bd. 130 (2008), 2, S. 589-593

http://dx.doi.org/10.1016/j.snb.2007.10.015

Lebedev, Vadim; Polyakov, Vladimir; Hauguth-Frank, Sindy; Cimalla, Volker; Wang, Chunyu; Ecke, Gernot; Schwierz, Frank; Schober, Andreas; Lozano, Juan Gabriel; Morales Sánchez, Francisco Miguel; González, David; Ambacher, Oliver
Electronic and photoconductive properties of ultrathin InGaN photodetectors. - In: Journal of applied physics, ISSN 1089-7550, Bd. 103 (2008), 7, 073715, insges. 7 S.

https://doi.org/10.1063/1.2903146

Dzur, Birger;
Plasma puts heat into spherical powder production. - In: Metal powder report, ISSN 1873-4065, Bd. 63 (2008), 2, S. 12-15

http://dx.doi.org/10.1016/S0026-0657(08)70019-5

Höche, Daniel; Schikora, Hendrik; Zutz, Hayo; Queitsch, Robert; Emmel, Andreas; Schaaf, Peter
Microstructure of TiN coatings synthesized by direct pulsed Nd:YAG laser nitriding of titanium: development of grain size, microstrain, and grain orientation. - In: Applied physics, ISSN 1432-0630, Bd. 91 (2008), 2, S. 305-314
. - Online-Ressource (PDF-Datei: 10 S., 780,33 KB)

Pure titanium was irradiated by pulsed Nd:YAG laser irradiation in nitrogen atmosphere. As a result, nitrogen uptake and diffusion occurred and a TiN layer was synthesized at the titanium surface. These TiN coatings were analyzed by X-ray diffraction and the diffraction patterns were investigated in detail, in order to obtain more information about the physical processes during the coating formation. The diffraction peaks were fitted by Pearson VII profiles and the grain size and the microstrain were determined by the analysis of line broadening and peak shifts, using the Williamson-Hall and the Warren-Averbach formalisms. Additional single-line analyses were performed by means of the method of Langford and Keijser to obtain information about the preferred grain orientation and the texture development. The maximum grain size was about 100 nm and a corresponding average lattice strain of 0.002 was found. A relation between the treatment parameters and the coating properties, such as grain size and microstrain, can be shown. Thus, it was possible to determine optimal scan parameters for material processing and to establish the physical limits of the coating properties. PACS 81.65.Lp; 81.15.Fg; 61.10.Nz; 68.55.Jk

http://dx.doi.org/10.1007/s00339-008-4403-8