Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine. - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 38
Grundlagen laserinterferometrischer Präzisionsmessgeräte. - In: Einladung zur 112. Jahrestagung vom 14. Juni bis 18. Juni 2011 und zur satzungsgemäßen ordentlichen Mitgliederversammlung der DGaO am 17. Juni 2011 in Ilmenau/Thüringen, (2011), S. 8
Performance and limitation of nanomeasuring technology. - In: International journal of nanomanufacturing, ISSN 1746-9392, Bd. 7 (2011), 1, S. 54-62
Modeling of profilometry with laser focus sensors. - In: Modeling aspects in optical metrology III, ISBN 978-0-8194-8679-0, 2011, S. 80830C, insges. 12 S.
Recent advances in 3-D tactile micro- and nanometrology. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 141-144
Interferometry for the next generation of nanopositioning and nanomeasuring machines. - In: Proceedings of the 11th International conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, (2011), S. 88-91
Herausforderungen und Grenzen der interferometrischen Präzisionsmesstechnik. - In: Technisches Messen, ISSN 2196-7113, Bd. 78 (2011), 3, S. 114-117
Die Prinzipien, die Grundlagen und die Arbeitsweise von Zweifrequenz- und Einfrequenz-Interferometern werden beschrieben. Auf der Grundlage einer messtechnischen Analyse werden die Vorteile aber auch die Grenzen der laserinterferometrischen Messverfahren dargestellt. Die Ermittlung des kleinsten auflösbaren Weginkrements erlaubt die Berechnung der Auflösung von Interferometern. Neben den Abbé-Fehlern werden weitere Einflüsse aufgeführt, welche sich auf die Messunsicherheit interferometrischer Längenmessungen auswirken. Eine 3D-Abbéfehlerfreie Anordnung wird am Beispiel einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine erläutert. Diese Maschine wurde in Zusammenarbeit zwischen dem Institut Prozessmess- und Sensortechnik und der SIOS Meßtechnik GmbH entwickelt.
http://dx.doi.org/10.1524/teme.2011.0122
Estimation of fixed-point temperatures - a practical approach. - In: Measurement, Bd. 44 (2011), 2, S. 385-390
Phase transition temperatures can be used for thermometer calibrations in accordance with the ITS-90. For this the thermometer is inserted into a fixed-point cell filled with a highly pure substance. While the substance is melting or freezing the temperature inside the cell remains almost constant and the thermometer measures a plateau in the temperature curve. From this plateau the phase transition temperature needs to be estimated for the calibration of the thermometer. This can be done using different mathematical methods, taking into account various systematic deviations as well as reproducibilities of the results depending on the chosen method, the fixed-point material's purity and above all the amount of fixed-point material. Hence this article presents results from measurements in miniature fixed-point cells filled with zinc of various purities. The plateau curves were measured at different heating rates and comparatively analysed using five different estimation methods.
http://dx.doi.org/10.1016/j.measurement.2010.10.015
Investigations of metrological models for the nanomeasuring and nanopositioning machine with respect to the measurement uncertainty by means of a Monte Carlo simulation. - In: Proceedings of: the twenty-fifth annual meeting of the American Society for Precision Engineering, ISBN 978-1-88770-656-8, (2010), S. 325-328
Combination of multi-sensor technology and multiple measurement strategies in micro- and nanometrology. - In: 10th International Symposium on Measurement and Quality Control (ISMQC 2010), ISBN 978-1-617-82019-9, (2010), S. 551-554