Structural and photoconducting properties of MBE and MOCVD grown III-nitride double-heterostructures. - In: Materials and devices for laser remote sensing and optical communication, ISBN 978-1-60511-046-2, (2008), S. 155-161
Beiträge zur Verringerung der Messunsicherheit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine, 2008. - Online-Ressource (PDF-Datei: VI, 102 S., 4,57 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2008
Parallel als Druckausg. erschienen
Fortschreitende Miniaturisierung, steigende Messbereiche, Messauflösungen und Reproduzierbarkeiten sowie immer kleinere Messunsicherheiten stellen einige der steigenden Anforderungen an Entwicklungen in der dreidimensionalen Koordinatenmesstechnik dar. In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur Verringerung der Positionierunsicherheit beim Messen mit einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NPM-Maschine) vorgestellt, die einige der genannten Anforderungen erfüllt. Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Die NPM-Maschine wurde am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau in Zusammenarbeit mit der SIOS Messtechnik GmbH entwickelt. Aus der Analyse der bisher vorliegenden Positionierunsicherheit bei Differenzmessungen zwischen zwei beliebigen Messpunkten im gesamten Messbereich werden Maßnahmen zur Verringerung der einzelnen Beiträge zur Positionierunsicherheit abgeleitet. Der größte Anteil der kombinierten Positionierunsicherheit entsteht durch die Temperaturempfindlichkeit des bisherigen Aufbaus, speziell durch die thermisch bedingte Dehnung der Längenmesssysteme, und aufgrund der begrenzten Stabilisierung der Temperatur. Die zur Längenmessung verwendeten Planspiegelinterferometer wurden daher konstruktiv verändert. Die Messunsicherheitsbeiträge durch die begrenzte Stabilisierung der Laserfrequenz der Interferometer und durch Abweichungen bei der Korrektur der Luftbrechzahl werden damit ebenfalls reduziert. Zur Verringerung der Temperatureinflüsse werden die vertikalen, elektrodynamischen Antriebssysteme durch eine neuartige Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine verbesserte Klimaregelung erhöht. Messobjekte werden zusammen mit einer Messspiegelecke bewegt, deren Position und Winkellage durch die Interferometer und elektronische Autokollimationsfernrohre bestimmt werden. Eine neu konstruierte, monolithische Messspiegelecke wird aus Zerodur gefertigt und statisch bestimmt gelagert. Dadurch treten verkleinerte Oberflächenabweichungen bei der Befestigung in der NPM-Maschine auf. Durch Verbesserungen bei der Justierung und Kalibrierung der Winkelsensoren wird die Messunsicherheit der Winkelmessung deutlich verkleinert. Die bei Verkippung des Messobjektes entstehenden Längenmessabweichungen erster und zweiter Ordnung werden dadurch reduziert. Aus den durchgeführten Verbesserungen resultiert eine enorme Verringerung der Positionierunsicherheit in der NPM-Maschine bei der Bestimmung einer Längendifferenz.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=11691
Unsicherheitsbetrachtung zur Darstellung der Temperatur mit Dreifach-Fixpunktstrahlern : Ermittlung der Phasenumwandlungstemperaturen eines Fixpunktstrahlers zur Kalibrierung von Strahlungsthermometern mit drei integrierten Temperaturfixpunkten. - In: Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen, (2008), insges. 10 S.
Uncertainties of precision measurements with industrial resistance thermometers :
Messunsicherheiten bei Präzisionsmessungen mit industriellen Widerstandsthermometern. - In: Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen, (2008), insges. 10 S.
Simulation of thermal behavior in high-precision measurement instruments. - In: International journal of thermophysics, ISSN 1572-9567, Bd. 29 (2008), 3, S. 1184-1192
In this paper, a way to modularize complex finite-element models is described. The modularization is done with temperature fields that appear in high-precision measurement instruments. There, the temperature negatively impacts the achievable uncertainty of measurement. To correct for this uncertainty, the temperature must be known at every point. This cannot be achieved just by measuring temperatures at specific locations. Therefore, a numerical treatment is necessary. As the system of interest is very complex, modularization is unavoidable to obtain good numerical results.
http://dx.doi.org/10.1007/s10765-007-0365-x
Investigations for the improvement of optical edge detection with a laser focus probe. - In: Portrait - Faculty of Mechanical Engineering, (2008), insges. 4 S.
Publ. entstand im Rahmen der Veranst.: ICPM 2008
Single crystalline sensors with thin-film strain gauges for force measurement and weighing technology. - In: Portrait - Faculty of Mechanical Engineering, (2008), insges. 18 S.
Publ. entstand im Rahmen der Veranst.: ICPM 2008
Mass dissemination using the Sartorius mass comparator robot system. - In: Portrait - Faculty of Mechanical Engineering, (2008), insges. 13 S.
Publ. entstand im Rahmen der Veranst.: ICPM 2008
Optimized metrological scanning force microscopes. - In: Portrait - Faculty of Mechanical Engineering, (2008), insges. 7 S.
Publ. entstand im Rahmen der Veranst.: ICPM 2008
Microoptical fibre-coupled laser interferometers and multiparameter microsensor systems for use in precision engineering. - In: Proceedings, (2008), S. 113-114