Kretzer, O.; Lenk, G.; Wesch, W.; Gunst, Ullrich; Müller, Bernhard
Charakterisierung flacher Borprofile in Silizium nach Implantation und Laserausheilung. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 182-187
Charakterisierung flacher Borprofile in Silizium nach Implantation und Laserausheilung. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 182-187
Brčka, Jozef; Gr&hacek;no, Július; Zur, Albrecht
The radiative flux distribution in the RTP reactor zone. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 122-127
The radiative flux distribution in the RTP reactor zone. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 122-127
Eichhorn, Gerd; Pezoldt, Jörg; Stauden, Thomas; Zöllner, Jens-Peter
Rapid Thermal Processing in der Mikroelektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 118-121
Rapid Thermal Processing in der Mikroelektroniktechnologie. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 118-121
Kalnin, Andreji Aleksandrowitsch; Pezoldt, Jörg; Neubert, Frank
Grundlagen der Struktursteuerung und Herstellung von heteropolytypen Kompositionen auf der Basis von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 102-112
Grundlagen der Struktursteuerung und Herstellung von heteropolytypen Kompositionen auf der Basis von SiC. - In: Vortragsreihen Mikroelektronik und Schaltungstechnik, Kommunikations- und Meßtechnik, (1992), S. 102-112