Metallisierung nanostrukturierter Oberflächen. - 71 S. Ilmenau : Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
Zur Metallisierung von Mikro- und Nanostrukturen wird das Sputtern als bevorzugtes Verfahren eingesetzt. Es ermöglicht im Unterschied zum Aufdampfen eine bessere Kantenbedeckung. Bei steigenden Aspektverhältnissen, der zu beschichtenden Strukturen verschlechtert sich die Schichtkonformität auch beim Sputtern. An der neu angeschafften Anlage "CS 400 S" soll der Einfluss der Sputterparameter auf die Kantenbedeckung untersucht werden. Das Ziel der Arbeit ist die Identifikation der optimalen Sputterparameter, um eine möglichst gute Kantenbedeckung zu erreichen. Zur Messung dieser findet im Vorfeld der statistischen Versuchsplanung die Zielgrößendefinition statt. Dabei werden zwei Auswertungsmethoden vorgestellt, welche im Laufe der Arbeit entwickelt wurde: Einzelbild- und Kantenbildauswertung. Als Zielgröße wird der Varianzkoeffizient der Schichtdicke verwendet. Dieser kann zwischen verschiedenen Versuchen, mit unterschiedlichen Schichtdicken an der Waferoberfläche, gut verglichen werden. Im Vorfeld der Experimente ist die Herstellung von Strukturen zur Beschichtung notwendig. Hierfür wurden Gräben im DRIE-Prozess und im Cryoprozess geätzt. Der Cryoprozess muss dazu erst optimiert werden, um das gewünschte Rechteckprofil zu erhalten. Dazu sind mehrere Versuche notwendig in denen die Ätzparameter dem Ätzprofil angepasst werden. In einem Vorversuch werden die Abscheideraten bestimmt. Anschließend wird der Einfluss der Prozessparameter Sputterleistung, Sputterdruck und Substrattemperatur auf die Kantenbedeckung untersucht. Nach der ersten Versuchsreihe wird der Einfluss der Substrattemperatur nicht weiter betrachtet, weil die entstandene Schicht matt weiß erscheint und damit nicht mehr als Reflexionsschicht geeignet ist. Der Parameter Sputterdruck besitzt bei beiden Auswertungsmethoden einen höheren Einfluss als die Sputterleistung auf den Varianzkoeffizienten. Die Schwankung über den Parameterraum des Drucks beträgt etwa 10 15% vom Mittelwert des Varianzkoeffizienten. Die Leistung schwankt um etwa 5% um den Mittelwert des Varianzkoeffizienten. Die Kantenbildauswertung ist gut zur genauen Analyse des Schichtverlaufs geeignet. Der periodische Schichtverlauf bei DRIE geätzten Proben kann mit dieser genau nachvollzogen werden. Weiterhin wird der Einfluss des schrägen Sputterns mit einem 20˚ Adapter untersucht. Durch diesen wird die Kantenbedeckung vor allem im Bereich der unteren Seitenwand stark verbessert. Insbesondere wird die Kantenbedeckung im Aspektverhältnisbereich zwischen 1,5 und 2,5 verbessert. Die angewendete Methodik zur Analyse der gesputterten Schichten mit der statistischen Versuchsplanung kann auch auf weitere Zielgrößen erweitert werden.
Design and fabrication of a tunable optical micro prism. - 163 S. Ilmenau : Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
In multimedialen und medizinischen Anwendungen werden optische Prismen mit mikroskopischen Abmessungen benötigt, die nicht durch diskrete Brechungs- oder Ablenkungswinkel begrenzt sind. Eine mögliche Idee, um der Nachfrage nach solchen Prismen nachzukommen, besteht im Austausch des optischen Glases durch eine lichtdurchlässige Flüssigkeit, welche durch das Anlegen einer Spannung an die Flüssigkeit elektrostatisch oder mit dem "Electrowetting on Dielectrics" (EWOD) Effekt deformiert wird. Diese Diplomarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf und der Herstellung eines durchstimmbaren optischen Mikroprismas. Das Ziel dieser Diplomarbeit war ein aktives optisches Prisma das zur Strahlablenkung eingesetzt werden kann. Die Umsetzung dieses Ziels beinhaltete die Auswahl eines geeigneten Wirkprinzips aufgrund von durchgeführten Experimenten, die Auswahl der geeigneten Fertigungstechnologien sowie eine Untersuchung der Funktionen und Eigenschaften des Prismas. Diese Arbeit enthält einen Überblick über geeignete Flüssigkeiten für den Electrowetting-Effekt und eine Auswertung des aktuellen Standes der Forschung. Des Weiteren wurden verschiedene Entwürfe für ein Mikro-Prisma für eigene Untersuchungen konzipiert. Es wurde ein Herstellungsprozess für Elektroden entwickelt, auf denen die Kontaktwinkeländerung eines Tropfens durchgeführt werden konnte. Zusätzlich wurde ein Rezept für hydrophobe Beschichtungen mit einer verdünnten Lösung eines amorphen Fluorpolymers im Sub-Mikrometer-Bereich erstellt. Bei einem der beiden umgesetzten Konzepte konnte die Fläche zwischen zwei Flüssigkeiten durch den Electrowetting-Effekt geneigt werden was zu einer Strahlablenkung führte. Damit wurde die Funktionalität eines durchstimmbaren optischen Prismas nachgewiesen. Darüber hinaus wurde ein in der Literatur vorgestellter Demonstrator einer Mikroprismen-Anordnung analysiert und die Einschränkungen dieses integrierten Systems dargestellt. Eigene Anforderungen an ein integriertes System wurden ebenfalls präsentiert.
Prozessführung mit Endpunktdetektion in Anlagen für das reaktive Ionenätzen. - 132 S. : Ilmenau, Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
In plasmabasierten Trockenätzprozessen hängt die Ätzrate stark von den Prozessparametern wie z. B. dem Zustand der Prozesskammer oder der Last - die zu ätzende, nicht maskierte Fläche - ab. Demzufolge erschwert sich die Festlegung des Prozessendes durch eine aus der Ätztiefe und der Ätzrate bestimmten Prozesszeit wegen der oftmals nur unzureichend ermittelbaren Ätzrate. Endpunktdetektionssysteme ermöglichen mittels geeigneter Messinstrumente die In-situ-Prozessüberwachung und -kontrolle von Trockenätzprozessen. Die Anforderungen an Endpunktdetektionssysteme unterscheiden sich je nach Einsatzbereich. In Forschung und Entwicklung ist der Anspruch an Flexibilität deutlich höher als in der Produktion, da die überwachten Prozesse häufig wechseln. - In der Diplomarbeit werden die wesentlichen Ergebnisse der Arbeiten an einer Anlage für das reaktive Ionenätzen mit zwei Endpunktdetektionssystemen vorgestellt. Das Messprinzip des verwendeten Monochromators basiert auf der optischen Emissionsspektroskopie und das des Laserinterferometers auf der Interferenz an dünnen Schichten. Im Rahmen der Arbeit wurden beide Systeme in Betrieb genommen und die Prozessführung mit Endpunktdetektion für ausgewählte Prozesse etabliert. Die Dokumentation fasst die notwendigen Informationen zur Bedienung beider Endpunktdetektionssysteme zentral zusammen. Bei den untersuchten Prozessen handelt es sich um das Siliciumdioxid- und Siliciumnitridmaskierungsätzen, das Siliciumtiefenätzen und die Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten (DLC). - Eine verlässliche Endpunktdetektion erfordert eine möglichst vollständige Charakterisierung des Plasmaprozesses, der Substrate und des Prozessergebnisses. Die für die Charakterisierung verwendete Methodik wird beschrieben und die daraus abgeleiteten Schlussfolgerungen, welches Endpunktdetektionssystem für welchen Prozess geeignet ist und wie dies zu konfigurieren ist, werden dargelegt. Die angewendete Methodik zur Analyse der Prozesse im Hinblick auf eine Endpunktdetektion erwies sich als vielseitig einsetzbar, denn sie erlaubt nicht nur die Untersuchung der Bearbeitungsschritte selbst, sondern auch die der vorbereitenden Schritte der Kammerreinigung und Vorkonditionierung, welche einen definierten Zustand der Prozesskammer herstellen. Mit den daraus ermittelten Ergebnissen wurden neue Empfehlungen für die Anwendung dieser vorbereitenden Schritte erarbeitet.
Nanoimprint-Lithography (NIL) for structured functional layers made of inorganic materials. - 120 S. : Ilmenau, Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
Am Zentrum für Mikro-und Nanotechnologien (ZMN) der Technischen Universität Ilmenau wurde ein neuer Mask Aligner MA8 der Firma SÜSS MicroTec in Betrieb genommen. Dieses System verfügt neben den Komponenten für die Standard-UV-Lithographie über zusätzliche Einrichtungen für die Nano-Imprint-Lithographie (NIL) mittels UV-Bestrahlung. Das Ziel dieser Arbeit ist die Etablierung der UV-gestützten Nano-Imprint-Lithographie (UV-NIL) am ZMN. Bei dieser hochauflösenden und parallelen Strukturierungsmethode werden Stempel aus Quarzglas in eine Schicht aus nieder-viskosem Resist gedrückt. Der Resist fließt in die Zwischenräume der einzelnen Strukturen und formt so die Oberfläche des Stempels präzise ab. Anschließend wird der Resist mittels UV-Bestrahlung durch den transparenten Stempel hindurch gehärtet. Danach kann der Stempel entformt werden und die gehärtete Resist schicht enthält ein Negativabbild der Stempelstrukturen. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde die NIL-Technologie allgemein vorgestellt und spezielle Varianten erläutert. Der UV-NIL Prozess unter Nutzung des neuen Mask Aligners und die anschließende Strukturübertragung in das Substrat mittels reaktivem Ionenätzen (RIE) konnten erfolgreich demonstriert und schließlich am ZMN etabliert werden. Dazu erforderliche und geeignete Materialien (Chemikalien, strukturierte Stempel und spezielle Trägerplatten aus Quarzglas) für die UV-NIL Prozesse wurden untersucht, gekauft und sind nun am ZMN verfügbar. Darüber hinaus wurden Prozesspläne für die Vorbereitung des Prozesses hinsichtlich der Substrate und der Stemple entwickelt. Prozessrezepte für die Übertragung von Silizium-Nanostrukturen wurden vorgestellt, angewendet und diskutiert. Des Weiteren wurde ein Prozess für die Abformung strukturierter Stempel unter Verwendung eines UV-härtbaren Hybridpolymers namens OrmoStamp (entwickelt von micro resist technology GmbH) vorgestellt. Hierzu benötigte Materialien sind ebenfalls am ZMN verfügbar. Schließlich wurde eine umfassende Untersuchung im Bereich der Herstellung von Stemplen mittels am ZMN verfügbarer Anlagen durchgeführt. Ein besonderes Augenmerk lag hierbei auf der Elektronenstrahl-Lithographie (EBL) zur Erzeugung von Nanostrukturen. Die Experimente wurden auf dem EBL-System RAITH 150 durchgeführt, wobei der spezielle Negativlack XR-1541 von Dow Corning® verwendet wurde. Mehrere Versionen von Maskenlayouts hoch auflösender Teststrukturen mit Größenordnungen von 1nm bis 10nm wurden entwurfen. Drei verschiedene Varianten für die Prozessierung des genannten EBL-Lacks mit unterschiedlichen Prozessparametern für die Substratvorbereitung und den Entwicklungsprozess konnten analysiert und verglichen werden.
Entwurf und Herstellung eines thermomechanischen Funktionselements auf der Basis von Silicium und SU-8. - 120 S. Ilmenau : Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung eines Bimorph Cantilevers aus Silicium und SU-8 mit einer nanostrukturierten Zwischenschicht aus Silicon Grass. Dazu wurden theoretische Untersuchungen zur analytischen Beschreibung des mechanischen, thermostatischen und thermodynamischen Verhaltens von Cantilevern mit dicken Schichten unter dem Einfluss der Siliciumnadeln durchgeführt. Mit Hilfe der analytischen Modelle wurden Cantilever aus Silicium und SU-8 mit einem optimalen Schichtdickenverhältnis für eine größtmögliche Deflektion entwickelt. Ebenso wurde der positive Einfluss der nanostrukturierten Zwischenschicht auf die dynamischen Eigenschaften von Cantilevern unter der Voraussetzung kleiner Abmessungen (Länge unter 300m) herausgearbeitet. - Neben der theoretischen Betrachtung wurde ein komplexer Prozessablauf zur Herstellung der Cantilever entworfen und erfolgreich in die Praxis umgesetzt. Diese Aufgabe umfasst auch das Design entsprechender Lithografiemasken und die Abstimmung der Einzelprozesse auf die Anforderungen der Cantilever. Es konnte gezeigt werden, dass die experimentell ermittelten Eigenschaften der hergestellten Cantilever eine gute Übereinstimmung mit denen der analytischen Berechnungen aufweisen. Außerdem konnten die Grenzen der Gültigkeit des vereinfachten thermischen Modells an Hand des thermostatischen und -dynamischen Verhaltens der Cantilever aufgezeigt und damit die Vorhersage deren Anwendbarkeit bestätigt werden.
Entwurf und Herstellung einer adaptiven Optik für LED-Leuchten auf der Basis thermo-mechanischer Aktoren. - 108 S. Ilmenau : Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
Ziel der Diplomarbeit ist die Entwicklung und technologische Umsetzung eines thermomechanisch aktuierbaren Spiegelelementes zur Abstrahlwinkelvariation in einer LED-Vorsatzoptik. Als Grundlage dient der von der Firma OSRAM vorgegebene Forderungsplan und eine im Fachgebiet für technische Optik entworfene Vorsatzoptik für die OSTAR 6-Chip-LED der Firma OSRAM. - Als Ergebnis wird ein thermo-mechanischer Aktor aus dem Hochleistungsthermoplast PEEK präsentiert, mit dem Winkelveränderungen im geforderten Bereich möglich sind. Zur Fertigung der Aktoren werden Verfahren aus der Mikrosystemtechnik und dem Präzisionsmaschinenbau genutzt. Um die Eignung des Werkstoffes für diese Verfahren zu testen, werden umfassende Testreihen zur Metallisierung, Metallschichtstrukturierung und Laserbearbeitung der Folien durchgeführt. - Diese ergeben eine gute Haftung von in PVD-Verfahren abgeschiedenen Metallschichten auf dem Material und eine hohe chemische Beständigkeit der Folien im anschließenden Strukturierungsprozess. Zudem gelingt per Laserbearbeitung eine Vereinzelung und Strukturierung der Aktoren ohne das Material oder die Metallisierung zu beeinträchtigen. - Die Charakterisierung des thermo-mechanischen Verhaltens der Aktoren erfolgt anhand von Testcantilevern, wobei zwei unterschiedliche Leiterzugdesigns und verschiedene PEEK Folientypen analysiert werden. Dabei zeigt die teilkristalline Folie ohne Füllstoffe in Verbindung mit dem ersten Leiterzuglayout deutliche Vorteile gegenüber den anderen Proben. - Die starke Auslenkung einlagiger Testcantilever, die trotz geringem Temperaturgradienten über die Aktordicke erreicht wird, kann mit einem starken Anstieg des Ausdehnungskoeffizient von PEEK im betreffenden Temperaturbereich erklärt werden. Dieses als Pseudo-Bimorpheffekt beschriebene Verhalten ermöglicht große Auslenkungen bei einfachsten Aktorgeometrien. Des Weiteren wird gezeigt, dass ein klassischer U-förmiger Monomorphaufbau auf Grund dieses Effektes nicht realisiert werden kann. - In einer Simulation der Testcantilever mit der Simulationssoftware ANSYS kann der Pseudo-Bimorpheffekt analysiert und bestätigt werden. Zudem gelingt im Modell eine genaue Nachbildung der Temperaturverteilung auf den Strukturen, die sich mit Wärmebildaufnahmen der Testcantilever deckt. - Abschließend wird ein Prototyp der Vorsatzoptik mit integriertem thermomechanischen Aktor gefertigt und die Abstrahlcharakteristik vermessen. Die Abstrahlwinkelvariation ist in einem Bereich zwischen 10,8˚ und 33,7˚.
Verbesserung der Haftfestigkeit, Duktilität und Leitfähigkeit der Kupferschicht auf Polyestergestricken. - 109 S. : Ilmenau, Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
Durch verkupferte Polyesterfadenmaterialien ist es möglich, das Gebiet der flexiblen Elektronik zu erweitern und eine optimale Integration von mikroelektronischen Komponenten in technischen Textilien, so genannten "Smart Textiles", zu ermöglichen. "Smart Textiles" sind multifunktional. Sie können nicht nur im Bereich der Kommunikation, der Datenspeicherung sowie im Energie- und Informationstransfer sondern auch in der Automobilindustrie und der Medizin angewendet werden. Durch weitere Variationen kommen sensorische und aktorische Eigenschaften hinzu. Dadurch gibt es heute viele neuartige Produkte wie textile Lichtquellen, Kommunikationshandschuhe, textile Heiz- und Kühlsysteme, integrierte Sprachdisplays, Energiespeichersysteme, Schmelzsicherungen, elektrolumineszierende Bauteile usw. In dieser Arbeit wird die Kupferschicht auf Polyesterfadenmaterialien hinsichtlich Haftfestigkeit, Duktilität und elektrischer Leitfähigkeit unter folgenden Aspekten untersucht: 1. weitere Methoden zur Vorbehandlung des Polyesters, insbesondere die Anwendung von multifunktionalen Aminen. 2. Die Prüfung der stromlosen Einzelfadenverkupferung auf Vorteile gegenüber der herkömmlichen Verkupferung im Gestrick. 3. Die Verwendung eines Pyrophosphat-Kupferelektrolyten für die galvanische Verstärkung der stromlos aufgebrachten Schicht. Als Ergebnis soll der Verfahrensablauf durch eine Kombination von verbesserter Vorbehandlung des Polyesters hinsichtlich stromloser und im Anschluss galvanischer Verkupferung weiterentwickelt werden.
Untersuchungen des Einflusses eines Magnetfeldes auf elektrochemische Reaktionen an rotierenden Elektroden. - Online-Ressource (PDF-Datei: XXIV, 97 S., 4,99 MB) : Ilmenau, Techn. Univ., Diplomarbeit, 2010
Ziel dieser Arbeit soll der Aufbau von rotierenden Elektroden für Magnetfelduntersuchungen und Untersuchungen zur Überlagerung der von Magnetfeld und Rotation beeinflussten Hydrodynamik sein. Dazu werden Scheibenelektroden in Kombination mit Redoxelektrolyten eingesetzt. Des Weiteren werden Messungen an ebenen Elektroden durchgeführt, um den Einfluss der Magnetfeldstellung zum elektrischen Feld festzustellen. Außerdem folgen Untersuchungen, damit der Geometrieeinfluss der Abscheidungszelle und der Einfluss des Elektrolytvolumens dargestellt werden können. Ein weiterer Arbeitspunkt ist die Klärung des Magnetfeldeinflusses auf die Nickelabscheidung. Die zu untersuchenden Parameter sind neben der Magnetfeldstärke und seiner Stellung zum elektrischen Feld die Stromdichte, die Zusammensetzung der Elektrolyte, der Einsatz von organischen Zusätzen, sowie die Abscheidung mit Partikeln im Größenbereich von ca. 150 nm. Die Schichten werden umfassend mittels Röntgendiffraktometrie, Elektronenmikroskopie, Querschliff und GDOES charakterisiert. Diese Arbeit ist eine Fortführung meiner Studienarbeit, die sich mit der Konstruktion, dem Aufbau und der Erprobung einer geeigneten Rotationseinrichtung, die auch im Hochfeldmagneten einsetzbar ist, beschäftigte.
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=15396
Kleben von Gewindebolzen auf faserverstärkte Kunststoffe in automobilen Anwendungen. - 99 S. Ilmenau : Techn. Univ., Diplomarbeit, 2009
In der Automobilindustrie werden zunehmend Leichtbaukomponenten eingesetzt. Das Ziel sind weitere Energieeinsparungen. Der Einsatz von kohlefaserverstärkte Kunststoffverbunden (CFK) bietet dabei ausreichende Festigkeit und ein geringes Gewicht. Die Montage von CFK Bauteilen in Fahrzeugen erfordert neue Wege in der Verbindungstechnik. Dabei werden konventionelle, metallische Verbindungselemente klebtechnisch auf CFK Bauteilen aufgebracht. Es wurde nach einer Lösung gesucht, mit der sich Gewindebolzen auf CFK Bauteile kleben lassen. Die besondere Herausforderung ist, dies in industriellem Maßstab in produktionsbedingt kurzen Taktzeiten vollautomatisiert sicherstellen zu können. Hierfür ist eine Positioniertreue des Bolzens spätestens 10 Sekunden nach der Applikation erforderlich, nach 120 Minuten muss die geforderte Endfestigkeit erreicht sein. Diese Endfestigkeit darf unter Alterungsbedingungen im Klimawechseltest nicht signifikant zurückgehen. Diese Diplomarbeit untersucht auf dem Markt verfügbare Klebstoffe auf ihre Eignung als Bolzenklebstoff auf einem CFK Substrat. Erste Versuchsreihen wurden mit 16 Klebstoffen in Hinsicht auf eine grundsätzliche Eignung für die Positioniertreue und der damit in Verbindung stehenden Aushärtegeschwindigkeit durchgeführt. In einer zweiten Versuchsreihe, bei der die Anzahl der Klebstoffe auf 6 Materialien als Folge der Ergebnisse der ersten Versuchsreihe reduziert werden konnte, wurden die mechanischen Eigenschaften der aussichtsreichsten Klebstoffe in einer eingrenzenden Montagefestigkeitsversuchsreihe durch Zugversuch der hergestellten Verbindung ermittelt. In der abschließend durchgeführten vergleichenden Messung mit 3 Klebstoffen wurden die spezifischen Eigenschaften der Klebstoffe mit den höchsten Festigkeitswerten genauer bestimmt. Die Klebstoffe, welche die dabei besten Eigenschaftswerte erreichten, wurden einer Nutzwertanalyse unter den Gesichtspunkten Wirtschaftlichkeit, Festigkeit und Verarbeitungsprozess unterzogen. Darauf basierend konnte eine Empfehlung für ein heißhärtendes Polyurethanklebstoffsystem und ein Zweikomponenten-Methacrylatklebestoffsystem ausgesprochen werden, die beide gute Ergebnisse in allen bewerteten Kategorien mit geringen Streubreiten aufweisen konnten.
Konzeption eines Zuverlässigkeitsprüfstands für Nano-Klettverschlüsse auf Basis von nanostrukturiertem Silizium ('Black Silicon')/ Morris Schwandt. - 190 S. : Ilmenau, Techn. Univ., Diplomarbeit, 2009
Nanostrukturiertes Silizium wird in der Mikrosystemtechnik aufgrund vielseitiger Einsatzmöglichkeiten immer bedeutsamer. Für das 'Black Silicon' existiert eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Eine innovative Verwendung dieser nadelartigen Oberflächenstruktur ist die Nutzung als mechanisches Bondinterface (Nano-Klettverschluss). Damit ist es möglich, verschiedene Mikrobauteile miteinander zu verbinden und komplexe MEMS, MOEMS und BioMEMS aufzubauen. - Basierend auf Vorarbeiten wurde ein Zuverlässigkeitsprüfstand, mit einem definierbaren Kraft-Zeitverlauf, konzeptioniert. Mit der Auswahl einer pneumatischen Krafterzeugung, in Verbindung mit einem speziellen Probendesign ist es möglich, kritische Fehlerquellen zu beseitigen und gleichzeitig einen Parallelaufbau (bis zu 8 Proben) zu realisieren. Der Kraftverlauf dieser pneumatischen Ansteuerung wurde für die Dimensionierung mit einem Simulationsprogramm (MULTISIM®) abgeschätzt. Auf diese Weise konnten verschiedene pneumatische Versuchsaufbauten simuliert und miteinander verglichen werden. - Der entwickelte Zuverlässigkeitsprüfstand kann sowohl für statische Belastungstests als auch für dynamische Dauerbelastungstests verwendet werden. Beim Dauerversuch wurde der rechteckförmige Druckverlauf der Schaltventile durch die beteiligten Bauteilkomponenten so abgeschwächt, dass ein kontinuierlicherer Verlauf, in Form einer steigenden und fallenden Exponentialfunktion, entsteht. - Um das Prinzip der pneumatischen Krafterzeugung zu realisieren, ist das Chipdesign und die damit verbundene Chipherstellung entsprechend angepasst. Die hohe Komplexität der Chipform erforderte einen neuartigen Technologie-Plan. Bei der Durchführung des Technologie-Plans konnte dennoch das Ziel, eine qualitativ gute Black Si Oberfläche zu erzeugen, durch eine ständige Optimierung und Modifizierung der Standardprozesse erfolgreich realisiert werden. - Nach der Bestimmung der statischen Festigkeiten wurde die Belastungsgrenze für den Dauerversuch festgelegt. Die Beanspruchung erfolgte im Schwellfestigkeitsbereich bei einer Oberspannung von 80 % des Mittelwerts der statischen Festigkeit. Sind die statistischen Ausreißer beseitigt, welche im ersten Zyklus der Beanspruchung ausfallen, so befindet sich die Probe im Dauerfestigkeitsbereich. Dies wird mit dem aktuellen Erkenntnisstand mit einer Zyklenzahl von 8 Millionen (3 Proben) bestätigt.