Tagungsbeiträge

Straube, Berit; Hülsenberg, Dagmar
Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 180-188

May, Markus; Hülsenberg, Dagmar
Mikrostrukturierung von Glas mittels Nd:YAG-Laser. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 173-179

Gerlach, Torsten; Wurmus, Helmut
Aufbau und Wirkungsweise der Dynamischen Mikropumpe. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 112-119

Salim, Riad;
Mikrotechnischer Silizium-Greifer für die Mikromontage. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 105-111

Wurmus, Helmut;
Anwendungspotentiale von Polymeren in der Mikrotechnik. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 90-97

Schilling, Cornelius; Wurmus, Helmut
Mikrosysteme - dem Leben ein Stück näher. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 14-25

Schwesinger, Norbert; Frank, Thomas
Integrierbare Mikromischer für Anwendungen in der chemischen Verfahrenstechnik und Analytik. - In: 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, 16./17. November 1995, (1995), S. 6-13

Böhner, R.; Hamann, Bernd; Hülsenberg, Dagmar; Knauf, Otto; Schaffner, E.; Unbekannt, J.
Fine BaTiO3 powder produced by the glass crystallization technique. - In: Ceramic processing science and technology, (1995), S. 75-79

Straube, Berit; Hülsenberg, Dagmar; Harnisch, Alf; May, Markus
Die Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser :
Development of microstructurable glasses. - In: Micro materials '95, (1995), S. 325-332

Hülsenberg, Dagmar; Harnisch, Alf; Horst, Hans-Jürgen; May, Markus; Schmidt, Kristina; Straube, Berit
Microstructuring of glass wafers for kinetic sensors. - In: Sensor 95, (1995), S. 415-420

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