Tagungsbeiträge

Dzur, Birger; Nutsch, Gabriele
Induktionsplasmaspritzen - ein neues Verfahren des thermischen Beschichtens. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 106-111

Stauden, Thomas; Eichhorn, Gerd; Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg; Ecke, Gernot; Nennewitz, Olaf
ECR-Abscheidung von AlN auf Si. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 756-759

Zöllner, Jens-Peter; Eichhorn, Gerd; Stauden, Thomas; Cimalla, Volker; Schliefke, Willy
Zu Problemen der Temperaturmessung beim RTP. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 750-755

Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg; Eichhorn, Gerd
Einfluß von Pufferschichten auf die Struktur und Morphologie von SiC-Epitaxieschichten auf Si. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 742-749

Nennewitz, Olaf; Spieß, Lothar; Breternitz, Volkmar
Ohmsche Kontakte auf p-type 6H-Siliciumkarbid. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 730-735

Fabricius, Alexander; Nennewitz, Olaf; Spieß, Lothar; Cimalla, Volker; Pezoldt, Jörg
Herstellung von WSi 2 und TiSi 2 durch Co-Sputtern und RTA. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 724-729

Hotový, Ivan; Vanek, Oldrich; Spieß, Lothar; Nennewitz, Olaf
NiO thin films applicable in gas sensors. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 713-718

Heider, Thomas; Presia, Michael; Schleicher, Larissa; Nutsch, Gabriele
Diamantschichtsynthese mit thermischem Plasma. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 703-708

Angelov, Mirko; Schön, S.; Goldhahn, Rüdiger; Nennewitz, Olaf
Synthese von ZnGe(As x P 1-x) 2 -Kristallen und Charakterisierung mittels elektrolytischer Elektroreflexion. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 692-697

Drüe, Karl-Heinz;
Fortschritte bei der passiven Integration durch Einsatz von Folientechnologien. - In: Vortragsreihen, (1995), S. 585-588

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