Fischer, Michael;
Trennverfahren für offene mikromechanische Strukturen. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 331-332
Trennverfahren für offene mikromechanische Strukturen. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 331-332
Heim, Ulf;
Simulation von Ätzprozessen - Möglichkeiten und Begrenzungen. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 237-248
Simulation von Ätzprozessen - Möglichkeiten und Begrenzungen. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 237-248
Becher, Ulf;
Elektrolytische Abscheidung von Ni-P-Legierungen zur Herstellung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 233-236
Elektrolytische Abscheidung von Ni-P-Legierungen zur Herstellung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 233-236
Schwesinger, Norbert;
Planarer Tintenstrahldruckkopf mit piezokeramischem Antrieb. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 135-146
Planarer Tintenstrahldruckkopf mit piezokeramischem Antrieb. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 135-146
Hülsenberg, Dagmar; Knauf, Otto
Fusion of glasses with high content of iron oxide. - In: Advances in fusion and processing of glass, (1993), S. 289-297
Fusion of glasses with high content of iron oxide. - In: Advances in fusion and processing of glass, (1993), S. 289-297
Hamann, Bernd; Hülsenberg, Dagmar; Knauf, Otto
BaTiO3-superfine powder on the base of the glass crystallization technique. - In: Fundamentals of glass science and technology 1993, (1993), S. 439-442
BaTiO3-superfine powder on the base of the glass crystallization technique. - In: Fundamentals of glass science and technology 1993, (1993), S. 439-442
Harnisch, Alf; Schmidt, Kristina; Hülsenberg, Dagmar; Straube, Berit; Jacob, C.
Joining glass in microdevices - microstructured glasses filled in with metals by electroforming. - In: Proceedings of the 4th International Conference Joining Ceramics, Glass and Metal, (1993), S. 367-373
Joining glass in microdevices - microstructured glasses filled in with metals by electroforming. - In: Proceedings of the 4th International Conference Joining Ceramics, Glass and Metal, (1993), S. 367-373
Schmidt, Kristina; Eckstein, Manuela; Hülsenberg, Dagmar
Mikostrukturierung von Glas mit Lasern. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 213-219
Mikostrukturierung von Glas mit Lasern. - In: Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik, (1993), S. 213-219
Schorcht, Hans-Jürgen; Meissner, Manfred; Wauro, Frank
Federn in mikromechanischen Strukturen. - In: Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik, (1993), S. 462-470
Federn in mikromechanischen Strukturen. - In: Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik, (1993), S. 462-470
Heim, Ulf;
Simulation des naßchemischen Ätzens. - In: Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik, (1993), S. 424-428
Simulation des naßchemischen Ätzens. - In: Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik, (1993), S. 424-428